[实用新型]一种进气分配装置

权利要求书

1.一种进气分配装置，其特征在于，包括具有导热功能的集成块(1)和用于为所述集成块(1)加热的加热元件(5)，所述集成块(1)内设有多个流道(2)，所述加热元件(5)设置于所述集成块(1)中，所述流道(2)与气源端连接，且还与腔室连接； 

当流道(2)为通孔时，在流道(2)与集成块(1)连通的位置分别设有封闭部件(3)；当流道(2)为盲孔时，在流道(2)与集成块(1)连通的位置设有封闭部件(3)，封闭部件(3)与集成块(1)严密焊接。 

2.根据权利要求1所述的进气分配装置，其特征在于，多个所述流道(2)之间成一定间隔设置。 

3.根据权利要求1所述的进气分配装置，其特征在于，多个所述流道(2)中的一部分成一定间隔设置，另一部分成一定角度彼此连通，所述角度大于或等于90°且小于或等于180°。 

4.根据权利要求1-3任一项所述的进气分配装置，其特征在于，所述流道(2)通过进口连接部件(8)与气源端连接，所述流道(2)通过出口连接部件(4)与腔室连接。 

5.根据权利要求4所述的进气分配装置，其特征在于，所述集成块(1)上还安装有用于测量所述流道(2)中的气体的温度的测温元件(6)，所述测温元件(6)通过止动螺钉(7)固定安装在所述集成块(1)上。 

6.根据权利要求5所述的进气分配装置，其特征在于，所述测温元件(6)连接有用于检测进入所述流道(2)的气体的温度及控制所述加热元件(5)开闭的控制系统，所述控制系统与所述加热元件(5)连接。