[实用新型]一种自清洗研磨上盘结构有效
申请号: | 201320886129.8 | 申请日: | 2013-12-31 |
公开(公告)号: | CN203695496U | 公开(公告)日: | 2014-07-09 |
发明(设计)人: | 聂金根 | 申请(专利权)人: | 镇江市港南电子有限公司 |
主分类号: | B08B3/02 | 分类号: | B08B3/02;B24B37/12 |
代理公司: | 上海海颂知识产权代理事务所(普通合伙) 31258 | 代理人: | 季萍 |
地址: | 212132 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 清洗 研磨 上盘 结构 | ||
1.一种自清洗研磨上盘结构,包括研磨上盘、通过支柱固定支撑在研磨上盘上的研磨砂液导槽、研磨上盘提拉支架以及通过研磨上盘提拉支架以提拉研磨上盘的提拉装置,其特征在于,所述提拉支架上固定设有进水管,所述进水管位于研磨上盘上方,所述进水管一端连接有进水装置,所述进水管上设置有多个喷头,所述喷头上设置有多个喷嘴,包括中心喷嘴,内侧喷嘴及外侧喷嘴,所述中心喷嘴,内侧喷嘴及外侧喷嘴在喷头右侧自中心向外呈“十”字型均匀分布,所述中心喷嘴与喷头所成夹角α为90度,所述内侧喷嘴与喷头所成夹角β为60度,所述外侧喷嘴与喷头所成夹角γ为30度。
2.如权利要求1所述的一种自清洗研磨上盘结构,其特征在于,所述喷头的数量为3个。
3.如权利要求1所述的一种自清洗研磨上盘结构,其特征在于,所述喷嘴的数量为9个。
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