[实用新型]用于分束激光的棱镜设备

权利要求书

1.一种用于分束激光的棱镜设备，包括对激光进行分束的棱镜组件，其特征在于，所述棱镜组件由多个紧密贴合的棱镜构成，并且具有多个反射面和半透射半反射面以将入射激光顺第一分束通道、第二分束通道、第三分束通道、第四分束通道和第五分束通道进行分束，其中：

入射激光顺所述第一分束通道分束后沿第一出射方向射出，所述第一出射方向与入射激光的入射方向相同；

入射激光顺所述第二分束通道分束后沿第二出射方向射出，所述第二出射方向与所述第一出射方向垂直；

入射激光顺所述第三分束通道分束后沿第三出射方向射出，所述第三出射方向与所述第一出射方向垂直并与所述第二出射方向相反且共线；

入射激光顺所述第四分束通道分束后沿第四出射方向射出，所述第四出射方向与所述第一出射方向和第二出射方向均垂直；

入射激光顺所述第五分束通道分束后沿第五出射方向射出，所述第五出射方向与所述第一出射方向和第二出射方向均垂直并与所述第四出射方向相反且共线；

所述半透射半反射面敷设有用于通过调整透射光和反射光的分光比以调整各分束光能量的分束膜。

2.根据权利要求1所述的用于分束激光的棱镜设备，其特征在于，所述棱镜组件构造为将一束入射激光顺所述第一至第五分束通道进行分束，其具有均以45度角接受光束入射的第一半透射半反射面、第二半透射半反射面、第三半透射半反射面、第四半透射半反射面，以及均以45度角接受光束入射的第一反射面组、第二反射面组和第三反射面组，其中：

所述入射激光顺所述第一分束通道分束的路径为所述入射激光分别透射所述第一半透射半反射面和第二半透射半反射面并通过所述第二反射面组反射后沿所述第一出射方向射出；

所述入射激光顺所述第二分束通道分束的路径为所述入射激光入射所述第一半透射半反射面经其反射并通过所述第一反射面组反射后沿所述第二出射方向射出；

所述入射激光顺所述第三分束通道分束的路径为所述入射激光透射所述第一半透射半反射面后入射到所述第二半透射半反射面上，经所述第二半透射半反射面反射，再分别透射所述第三半透射半反射面和第四半透射半反射面后沿所述第三出射方向射出；

所述入射激光顺所述第四分束通道分束的路径为所述入射激光透射所述第一半透射半反射面并入射到所述第二半透射半反射面上，经所述第二半透射半反射面反射后入射到所述第三半透射半反射面上，再经所述第三半透射半反射面反射并通过所述第三反射面组反射后沿所述第四出射方向射出；

所述入射激光顺所述第五分束通道分束的路径为所述入射激光透射所述第一半透射半反射面并经所述第二半透射半反射面反射，并透射所述第三半透射半反射面后入射到所述第四半透射半反射面上，再经所述第四半透射半反射面反射后沿所述第五出射方向射出。

3.根据权利要求1所述的用于分束激光的棱镜设备，其特征在于，所述棱镜组件构造为将三束入射激光顺所述第一至第五分束通道进行分束，其具有均以45度角接受光束入射的第五半透射半反射面和第六半透射半反射面，以及均以45度角接受光束入射的第四反射面组、第五反射面组、第六反射面组和第七反射面组，其中：

第一束入射激光顺所述第一分束通道分束的路径为该入射激光分别透射所述第五半透射半反射面和第六半透射半反射面并通过所述第四反射面组反射后沿所述第一出射方向射出；

第一束入射激光顺所述第二分束通道分束的路径为该入射激光入射所述第五半透射半反射面经其反射并通过所述第五反射面组反射后沿所述第二出射方向射出；

第一束入射激光顺所述第三分束通道分束的路径为该入射激光透射所述第五半透射半反射面后入射到所述第六半透射半反射面上，经所述第六半透射半反射面反射沿所述第三出射方向射出；

第二束入射激光顺所述第四分束通道分束的路径为该入射激光入射到所述第六反射面组后经其反射沿所述第四出射方向射出；

第三束入射激光顺所述第五分束通道分束的路径为该入射激光入射到所述第七反射面组后经其反射沿所述第五出射方向射出。

4.根据权利要求1所述的用于分束激光的棱镜设备，其特征在于，所述分束膜包括铬膜、硫化锌膜、二氧化钛膜或者银灰色热反射膜。