[实用新型]一种离子源电参数质量歧视自动校正装置有效
申请号: | 201320891100.9 | 申请日: | 2013-12-31 |
公开(公告)号: | CN203733758U | 公开(公告)日: | 2014-07-23 |
发明(设计)人: | 李海军;邹盛强;李斌;杨松;阎瑞 | 申请(专利权)人: | 四川红华实业有限公司 |
主分类号: | H01J49/16 | 分类号: | H01J49/16;G01N27/64 |
代理公司: | 核工业专利中心 11007 | 代理人: | 罗立冬 |
地址: | 614700 四*** | 国省代码: | 四川;51 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 离子源 参数 质量 歧视 自动 校正 装置 | ||
1.一种离子源电参数质量歧视自动校正装置,其特征在于:包括多个电位器组,每组电位器中由多个独立相同的电位器组成,各电位器并联,两端接在电极在分压器电路板对应的电压输出端上,各电位器滑动端通过相应高压继电器接在电极上,高压继电器的接通受质量数判断模块控制,工作时,每组电位器只有一个能通过高压继电器接通输出。
2.根据权利要求1所述的一种离子源电参数质量歧视自动校正装置,其特征在于:所述每组电位器中有6个独立电位器,分别对应不同的质量数。
3.根据权利要求1所述的一种离子源电参数质量歧视自动校正装置,其特征在于:所述电位器组共三个,分别对应引出电极、第一聚焦电极和第二聚焦电极。
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