[实用新型]掩模传输版库设备

说明书

技术领域

本实用新型涉及光刻设备技术领域，特别涉及一种掩模传输版库设备。

背景技术

光刻设备已经能够在晶片上形成越来越小的图形，在光刻设备中，掩模传输版库设备则是对光刻过程中掩模版操作的重要装置，现有的掩模传输版库设备最常用的有两种：

一种现有掩模传输版库设备中，升降部分采用电机、同步带轮和竖向安装的同步齿形带；锁定及解锁部分采用凸轮和连杆机构。这种掩模传输版库设备的升降部分在竖直方向，同步齿形带一直处于受力状态，而且无法制动，必须靠电机自身的制动力矩制动，且同步齿形带容易产生颗粒污染物；而锁定及解锁部分的凸轮和连杆存在滑动摩擦，工作效率降低，外形较大且复杂。

另一种掩模传输版库设备，其升降部分采用偏置丝杠导轨结构；锁定及解锁部分采用齿轮条加钢索结构。这种掩模传输版库设备开锁及解锁时，返程间隙大，锁销运动不同步；偏置丝杠导轨结构稳定性差。

在申请号200820156899.6，授权公告号CN201327564Y，主题名称为“掩模版库机构”的专利中，采用电机驱动同步带，同步带带动螺母丝杠，沿导轨运动。同步带传动和螺母丝杠传动叠加使用，传递误差大，成本高。解锁机构复杂，使用微型导轨较多，成本高且不易维护。

有鉴于此，如何提供一种掩模传输版库设备来减少上述弊端已经成为业界亟需解决的技术问题。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种掩模传输版库设备，以减少设备成本，加强版库精度和安全性，实现掩模版盒升降、锁定和解锁，掩模版的管理和保护功能。

本实用新型的技术方案是一种掩模传输版库设备，包括：

解锁机构、升降机构和版盒，以及在所述解锁机构下方的掩模版保护机构；

所述解锁机构，用于在取出或者放回掩模版时，松开锁扣；

所述升降机构，用于驱使版盒上下运动；

所述版盒由版盒壳和版架构成，所述版盒为单层版盒或多层版盒，所述掩模版搁置在所述版架的某层支持架上；

所述掩模版保护机构，用于在所述版盒未运行到位时，机械锁死，保护掩模版不被非法取出或者放回。

进一步的，所述掩模版保护机构包括分度圆、位于其上方并与之连接的E形槽、版叉伸入限位。

进一步的，所述解锁机构包括驱动电机、偏心轮以及与所述偏心轮连接的连杆机构，所述驱动电机驱动偏心轮旋转，所述偏心轮驱动连杆机构同步运动。

进一步的，所述升降机构包括驱动组件和与之相连的升降台和竖直导轨，所述驱动组件能够驱动所述升降台沿所述竖直导轨作上下直线运动。

进一步的，所述分度圆共有6个凹槽，所述凹槽与版架上放置掩模版的位置一一对应。

进一步的，所述掩模版保护机构还包括，能够通过所述凹槽的版叉及位于版叉上的限位销。

进一步的，所述连杆机构设置在同一平面上，共有6个连杆顺序连接。

进一步的，所述解锁机构还包括与所述连杆机构相连接的解锁销。

进一步的，所述解锁机构还包括与所述偏心轮相连的机械限位以及可以检测到所述偏心轮旋转情况的偏心轮到位传感器。

进一步的，所述驱动组件包括驱动电机以及同步带轮和同步齿形带，所述驱动电机能够通过所述同步带轮和同步齿形带，驱动所述升降台沿所述竖直导轨运动。

进一步的，所述升降机构还包括传动轴和从动轴，以及分别在所述传动轴和从动轴上设置的背靠背轴承。

进一步的，还包括，位于所述掩模传输版库设备背面的版盒检测装置，用于检测版盒的存在、类型、层数、尺寸及其运动位置。

进一步的，所述版盒检测装置包括上限位传感器、零位传感器、下限位传感器以及版盒类型检测传感器和传感器触发片。

进一步的，所述版盒检测装置还包括，位于所述解锁机构上方的板架存在检测传感器以及版盒存在检测传感器。

进一步的，还包括条码检测传感器，用于获得掩模版条码编号。

进一步的，在解锁机构及升降机构上设置有抽颗粒功能的一路管子，所述管子抽气用于防止在运动过程中产生颗粒而污染掩模版。

与现有技术相比，本实用新型具有以下优点：

1、本实用新型中的升降机构，驱动电机通过同步带轮和同步齿形带，驱动升降台沿竖直轨道运动，并在传动轴和从动轴各上设置有背靠背轴承，加大运动轴径向受力，提高掩模版升降机构运动平稳性和可靠性，实现高精度升降；