[实用新型]一种正交脉冲输出的激光干涉仪信号处理装置有效

专利信息
申请号: 201320891206.9 申请日: 2013-12-31
公开(公告)号: CN203785632U 公开(公告)日: 2014-08-20
发明(设计)人: 高为官;池峰 申请(专利权)人: 上海微电子装备有限公司
主分类号: G01B11/02 分类号: G01B11/02
代理公司: 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 代理人: 屈蘅;李时云
地址: 201203 上*** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 一种 正交 脉冲 输出 激光 干涉仪 信号 处理 装置
【权利要求书】:

1.一种正交脉冲输出的激光干涉仪信号处理装置,其特征在于,包括依次连接的信号接收对比模块、信号产生模块和信号驱动模块;其中,

所述信号接收对比模块,用于接收参考信号和测量信号经过转换比较后给出脉冲信号及正交脉冲信号的数量和方向;

所述信号产生模块,用于接收所述信号接收对比模块给出的所有信息,然后产生正确数量和方向的所述正交脉冲信号;

所述信号驱动模块,发送所述正交脉冲信号至信号线上。

2.如权利要求1所述的正交脉冲输出的激光干涉仪信号处理装置,其特征在于,所述信号接收对比模块包括:

信号接收模块,用于接收参考信号和测量信号,并将参考信号和测量信号转换成电信号,进而转换成脉冲信号;

与所述信号接收模块连接的信号细分模块,用于对参考信号和测量信号进行电子细分;

与所述信号细分模块连接的鉴相模块,用于比较参考信号和测量信号出现的次数和先后顺序,确定正交脉冲信号产生的个数和方向。

3.如权利要求2所述的正交脉冲输出的激光干涉仪信号处理装置,其特征在于,所述信号产生模块包括:

与所述鉴相模块连接的正交信号产生模块,用于根据所述鉴相模块生成相应的所述正交脉冲信号输出;

与所述正交信号产生模块连接的毛刺滤波模块,用于滤出所述正交信号产生模块产生的毛刺,并将滤波后的所述正交脉冲信号发送至信号驱动模块;

所述信号驱动模块,用于将所述滤波后的正交脉冲信号发送至信号线上。

4.如权利要求3所述的正交脉冲输出的激光干涉仪信号处理装置,其特征在于,还包括:分别与所述毛刺滤波模块和鉴相模块连接的测速模块,用于检测当前滤波后的正交脉冲信号的最大速度,并设定一分频参数给所述鉴相模块。

5.如权利要求2所述的正交脉冲输出的激光干涉仪信号处理装置,其特征在于,所述信号细分模块采用锁相倍频法对参考信号和测量信号进行电子细分。

6.如权利要求2所述的正交脉冲输出的激光干涉仪信号处理装置,其特征在于,所述鉴相模块包括:依次耦合的预处理模块、方向判别增减计数器和锁存器。

7.如权利要求6所述的正交脉冲输出的激光干涉仪信号处理装置,其特征在于,所述方向判别增减计数器为一个16位的计数器。

8.如权利要求4所述的正交脉冲输出的激光干涉仪信号处理装置,其特征在于,所述鉴相模块、正交信号产生模块、毛刺滤波模块和测速模块由FPGA芯片内部的逻辑电路实现。

9.如权利要求3所述的正交脉冲输出的激光干涉仪信号处理装置,其特征在于,所述正交信号产生模块包括:减法器、信号发生器和跟随计数器;其中,

所述减法器与信号发生器连接;

所述减法器,用于根据鉴相模块输出的结果与所述跟随计数器进行比较,若不相等,则输出一定的正交脉冲信号。

10.如权利要求3所述的正交脉冲输出的激光干涉仪信号处理装置,其特征在于,所述毛刺滤波模块包括:第一触发器、与逻辑、JK触发器、或非逻辑和第二触发器。

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