[实用新型]版库设备有效

专利信息
申请号: 201320891209.2 申请日: 2013-12-31
公开(公告)号: CN203714553U 公开(公告)日: 2014-07-16
发明(设计)人: 孙鹤源;王长刚 申请(专利权)人: 上海微电子装备有限公司
主分类号: B65G1/04 分类号: B65G1/04;B65G1/137
代理公司: 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 代理人: 屈蘅;李时云
地址: 201203 上*** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 设备
【权利要求书】:

1.一种版库设备,包括版库,所述版库的内部沿竖直方向上区分若干个槽,每个槽用以容置一个版盒,其特征在于:还包括升降结构,所述版库设在所述升降结构上,且通过所述升降结构实现升降运动。

2.如权利要求1所述的版库设备,其特征在于:所述升降结构包括升降运动台与升降轴,所述版库固定设在所述升降运动台上,所述升降运动台通过所述升降轴实现升降运动。

3.如权利要求2所述的版库设备,其特征在于:所述升降轴为丝杠导轨的传动结构,由一直流电机驱动。

4.如权利要求2所述的版库设备,其特征在于:所述升降结构还包括支撑框架,设在所述升降轴上。

5.如权利要求1所述的版库设备,其特征在于:还包括版盒定位结构,所述版盒定位结构包括库内定位结构和盒上定位结构,所述盒上定位结构设在所述版盒的外侧,所述库内定位结构设在所述版库的内侧,所述库内定位结构和盒上定位结构匹配连接固定所述版盒在版库内的位置。

6.如权利要求5所述的版库设备,其特征在于:所述库内定位结构包括定位滚轮、定位压片和定位支座,所述定位压片固定设在所述版库的内表面,所述定位滚轮通过一个沿其轴向设置的定位轴与所述定位压片连接,所述盒上定位结构的一侧表面与所述定位支座滑动连接,另一侧表面与所述定位滚轮滚动连接。

7.如权利要求6所述的版库设备,其特征在于:所述盒上定位结构的与所述定位滚轮滚动连接的表面设有斜坡面与凹弧面,所述凹弧面的形状与所述定位滚轮相匹配,所述凹弧面与所述斜坡面相背设置,所述定位滚轮随着所述盒上定位结构的移动自所述斜坡面滚动进入到所述凹弧面内,所述定位滚轮通过所述定位压片压在所述凹弧面内实现所述盒上定位结构的位置固定。

8.如权利要求5所述的版库设备,其特征在于:所述版库内每个槽内均设有两个位于同一高度的库内定位结构,两个所述库内定位结构对称设于槽内所述版盒容置位置的两侧。

9.如权利要求1所述的版库设备,其特征在于:还包括版库自锁结构,所述版库自锁结构包括固定设在所述版盒上的盒上挡板与设于所述版库上的库上挡板,所述库上挡板与所述版库的外表面滑动连接,当所述库上挡板移动至自锁位置时,所述版库通过所述库上挡板阻挡所述盒上挡板向版库外移动,进而锁住所述版盒。

10.如权利要求9所述的版库设备,其特征在于:所述版库自锁结构还包括框架,所述库上挡板固定设在所述框架上,所述框架与所述版库的外表面滑动连接。

11.如权利要求10所述的版库设备,其特征在于:所述框架上设有限位孔,若干支点用台阶螺栓穿过所述限位孔与所述版库固定连接,所述框架在所述限位孔的范围内相对于所述支点用台阶螺栓和版库移动。

12.如权利要求11所述的版库设备,其特征在于:所述限位孔的宽度小于所述支点用台阶螺栓的头部,该头部限制所述框架沿垂直于版库表面的方向移动。

13.如权利要求11所述的版库设备,其特征在于:所述限位孔的形状与所述库上挡板的自锁位置和非自锁位置相匹配。

14.如权利要求10所述的版库设备,其特征在于:还包括框架锁定装置,所述框架与库上挡板移动至自锁位置和非自锁位置时,通过所述框架锁定装置实现所述框架相对于所述版库的位置固定。

15.如权利要求14所述的版库设备,其特征在于:所述框架锁定装置包括连杆、连接件与弹簧,所述连杆通过同时穿过版库和框架实现所述框架相对于所述版库的位置固定,所述连接件固定设在所述框架上,所述连杆沿所述连接件的内壁移动,所述弹簧的两端分别连接所述连接件和连杆,且所述弹簧伸缩的方向与所述连杆沿所述连接件的内壁移动的方向相匹配。

16.如权利要求1所述的版库设备,其特征在于:所述版库设有供机械手取放版盒的加载窗口。

17.如权利要求1所述的版库设备,其特征在于:所述版库的每个槽内均设有版盒存在传感器和掩膜存在传感器,所述版盒存在传感器和掩膜存在传感器与设在版库外表面的指示灯连接。

18.如权利要求16所述的版库设备,其特征在于:所述加载窗口上设有防叉错结构,所述防插错结构位于相邻两个槽的交界处。

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