[实用新型]MEMS传感装置及包含该MEMS传感装置的电子设备

说明书

技术领域

本实用新型涉及MEMS传感器技术，尤其涉及一种MEMS传感装置及包含该MEMS传感装置的电子设备。 

背景技术

微机电系统(MEMS,Microelectro Mechanical Systems)技术目前已经得到了广泛关注和应用。MEMS传感器是采用微电子和微机械加工技术制造出来的新型传感器。与传统的传感器相比，MEMS传感器具有体积小、重量轻、成本低、功耗低、可靠性高、适于批量化生产、易于集成和实现智能化的特点。同时，微米量级的特征尺寸使得它可以完成某些传统机械传感器所不能实现的功能。 

智能手机、平板电脑、游戏控制器、数码相机以及个人导航设备等消费电子产品的应用越来越广泛。消费者对手势识别、方位感知、单点轻敲、双点轻敲、自由落体、晃动等实时运动检测功能的需求越来越多，这也导致了MEMS加速度计的集成成为一种趋势。 

随着电子设备功能越来越强大，相应的工作和待机功耗也越来越大，大容量的电池也无法满足消费者的需求。因此，降低设备的工作和待机功耗，成为设计者的一项重要目标。 

为了解决以上问题，本实用新型旨在提供一种检测方法，降低设备的待机功耗，同时提供多种工作模式，降低MEMS传感装置的工作功耗，在精度要求低的时候，降低工作速率，从而降低工作功耗。 

现有技术中，MEMS传感器通常和外部的系统处理单元配合使用，MEMS传感器直接输出加速度信号，由系统处理单元通过软件等方式来处理移动或静止检测，以在待机状态和正常工作状态之间切换。 

但是，采用上述方法，系统处理单元的处理任务负担较重，效率较低。而且由于系统处理单元需要频繁地检测移动或静止状态，这也增加了一部分功耗。 

实用新型内容

本实用新型要解决的技术问题是提供一种MEMS传感装置及包含该MEMS传感装置的电子设备，有利于减少系统处理单元的处理工作，提高效率，降低成本。 

为解决上述技术问题，本实用新型提供了一种MEMS传感装置，包括： 

MEMS机械装置，具有至少一个检测轴，产生至少一个加速度信号，每个加速度信号分别与相应的检测轴检测到的加速度相关联； 

电压转换电路，接收所述加速度信号并将其转换为电压信号； 

滤波模块，与所述电压转换电路的输出端相连，对所述电压信号进行滤波； 

信号检测电路，与所述滤波模块的输出端相连，对所述滤波模块的输出信号进行检测并根据该输出信号的幅度产生自动休眠信号或唤醒信号。 

根据本实用新型的一个实施例，所述检测轴和加速度信号的数量为多个，所述MEMS传感装置还包括：多路选择电路，所述多路选择电路将所述多个加速度信号以分时复用的方式传输至所述电压转换电路。 

根据本实用新型的一个实施例，所述滤波模块包括： 

A/D转换电路，将所述电压信号转换为数字信号； 

数字低通滤波器，与所述A/D转换电路的输出端相连，对所述数字信号进行低通滤波； 

数字高通滤波器，与所述数字低通滤波器的输出端相连，对所述数字低通滤波器的输出信号进行高通滤波。 

根据本实用新型的一个实施例，所述数字低通滤波器为级联积分梳状滤波器。 

根据本实用新型的一个实施例，所述数字低通滤波器包括： 

第一传输模块； 

下抽样器，其输入端与所述第一传输模块的输出端相连； 

第二传输模块，其输入端与所述下抽样器的输出端相连； 

其中，该第一传输模块包括多个级联的第一传输节点，该第一传输节点包括： 

加法器单元，其第一输入端为该第一传输节点的输入端，其输出端为该第一传输节点的输出端； 

一阶延迟单元，其输入端与该加法器单元的输出端相连，其输出端与所述 加法器的第二输入端相连； 

该第二传输模块包括多个级联的第二传输节点，该第二传输节点包括： 

减法器单元，其第一输入端为该第二传输节点的输入端，其输出端为该第二传输节点的输出端； 

M阶延迟单元，其输入端与该减法器单元的第一输入端相连，其输出端与该减法器单元的第二输入端相连，其中M为正整数。 

根据本实用新型的一个实施例，所述下抽样器具有通讯接口，用于设置该下抽样器的下抽样因子。 

根据本实用新型的一个实施例，所述数字高通滤波器为数字高通巴特沃斯滤波器。 

根据本实用新型的一个实施例，所述数字高通滤波器包括：