[实用新型]一种真空设备中抽真空系统气体抽除速度测量装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及真空设备中抽真空系统气体抽除速度的测量，尤其与较高真空度环境下的气体抽除速度测量的装置有关。

背景技术

当前关于气体流量测量的方法多种多样，但是基于这些方法设计的流量计一般仅针对非真空（大于100kPa）或真空度不高的情形。在较高真空的状态下进行气体流量的测量时，由于此时气体流量密度小、气流推力过小（很多时候绝对压力小于100Pa），目前没有合适的流量计能够直接测量得到该状态下的空气流量。为了得到上述状态下的空气流量，很多工程应用是以真空泵的理论抽速曲线和真空管道的结构为基础数值，通过理论计算来得到与实际较接近的抽真空系统抽气量速度曲线，但随着真空泵工作时间的加长，真空度的提高，抽真空系统的气体抽除速度与该理论值相比，会产生越来越大的偏差，从而使上述依靠理论计算得到的数据无法反映真实的抽真空气流速度。而在抽真空气流速度不能准确获得的情况下，就无法准确获知真空容器中待处理产品的状态，从而使抽真空无法有的放矢，盲目性增大，可能会因为处理不充分而导致产品不合格，也可能会因为产品已达到需要处理效果但未能及时结束处理过程而浪费能源。因此，如何在较高真空的状态下，较为准确地得到设备的抽真空系统的抽真空速度，以获得准确的相关数据，成为业界急需解决的问题。

实用新型内容

针对现有技术中存在的问题，本实用新型的目的为提供一种能够准确有效地测量较高真空状态下抽真空系统的气体抽除速度测量装置。该装置通过对较高真空状态下气体流量与抽真空管道真空度进行关联标定，从而可以通过对该状态下真空度的检测来确定抽真空系统的气体抽除速度。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

一种真空设备中抽真空系统气体抽除速度测量装置，所述真空设备包括真空容器、真空机组和抽真空管道，所述测量装置包括真空传感器、定流量进气装置和控制装置，所述真空传感器和所述定流量进气装置均连通设置在所述抽真空管道上，所述控制装置以电气测控形式连接所述真空传感器和所述定流量进气装置，所述控制装置控制所述定流量进气装置动作、采集所述定流量进气装置和所述真空传感器的数据信息并进行计算和储存，确定所述真空传感器测得的真空度的数值与所述定流量进气装置的进气流量数值的关系。

进一步，所述定流量进气装置包括多个并联设置的微定流量器，每个所述微定流量器均包括两个相通的第一通口和第二通口，所述第一通口与所述抽真空管道连通，所述第二通口连通阀门。

进一步，所述微定流量进气器为音速喷嘴。

进一步，所述阀门为电磁阀。

进一步，所述微定流量器分别为Q1、Q2…、Qx、…Qn，对应的进气流量分别为S1、S2…、Sx、…Sn，各所述微定流量器的进气流量满足下列关系：Sx=2^x×S1。

进一步，所述n为5。

进一步，所述微定流量进气器Q1、Q2…、Qx、…Qn之间能够任意组合开启。

进一步，所述真空传感器安装于测量室，所述测量室通过一阀门连通所述抽真空管道。

进一步，所述真空机组包括多个组合设置的真空泵。

进一步，所述控制装置包括数据采集模块、输入指令模块、数据处理模块、标定模块和输出模块；所述数据采集模块分别通讯连接所述真空传感器和所述数据处理模块，所述数据采集模块采集所述真空传感器测得的真空度数值，并发送给所述数据处理模块；所述输入指令模块能够输入指令且通讯连接所述数据处理模块，所述输入指令模块按照输入指令控制所述定流量进气装置动作以确定进气流量，并将所述进气流量数值发送到所述数据处理模块；所述数据处理模块分别通讯连接所述数据采集模块、所述输入指令模块和所述标定模块，所述数据处理模块将所述数据采集模块采集到的真空度数值和所述输入指令模块发送来的进气流量数值进行数据处理后发送到所述标定模块；所述标定模块分别通讯连接所述数据处理模块和所述输出模块，所述标定模块将所述数据处理模块发送来的处理后的真空度数值和进气流量数值进行对应标定后发送到所述输出模块；所述输出模块分别通讯连接所述标定模块和所述真空传感器，所述输出模块对采集到的所述真空传感器的真空度数值进行处理，根据所述标定模块发送来的标定信息将与该真空度数值相对应的进气流量数值进行输出。