[实用新型]一种离子测量装置

权利要求书

1.一种离子测量装置，包括离子光学系统，所述离子光学系统包括离子透镜，其特征在于：

所述离子测量装置还包括与所述离子透镜相连的隔离脉冲电源，及与所述隔离脉冲电源相连的控制单元和处理单元；

所述控制单元控制所述隔离脉冲电源给所述离子透镜提供电压，离子撞击在离子透镜上形成离子电流并从所述隔离脉冲电源副边输出，所述处理单元接收并处理所述离子电流进而得到离子传输数量。

2.根据权利要求1所述的离子测量装置，其特征在于：所述隔离脉冲电源副边的相对接地端与所述处理单元的接地端虚接。

3.根据权利要求2所述的离子测量装置，其特征在于：所述处理单元包括运算放大电路和模拟数字转化器，所述隔离脉冲电源副边的相对接地端与所述运算放大电路的输入端相连。

4.根据权利要求3所述的离子测量装置，其特征在于：所述处理单元还包括滤波电路。

5.根据权利要求1所述的离子测量装置，其特征在于：所述隔离脉冲电源包括正电源接口和负电源接口。

6.根据权利要求1所述的离子测量装置，其特征在于：所述控制单元包括脉冲产生电路，用于驱动隔离脉冲电源。

7.根据权利要求1所述的离子测量装置，其特征在于：所述离子测量装置还包括离子切换开关，所述离子切换开关分别与所述离子透镜、所述隔离脉冲电源、所述控制单元及所述离子光学系统内的离子透镜电源相连；所述离子切换开关在控制单元的控制下选择性地与所述隔离脉冲电源和所述离子透镜电源相连通。

8.根据权利要求1～7任一所述的离子测量装置，其特征在于：所述控制单元还与所述处理单元相连通，并根据处理单元的处理结果生成报警信息，提示是否需要对相应离子光学系统进行维护。

9.根据权利要求8所述的离子测量装置，其特征在于：所述控制单元集成在所述离子光学系统中。