[发明专利]压电体膜、喷墨头、使用喷墨头形成图像的方法、角速度传感器、使用角速度传感器测定角速度的方法、压电发电元件以及使用压电发电元件的发电方法

权利要求书

1.一种压电体膜，其特征在于，具备：

Na_xM_1-x层和（Bi，Na）TiO₃-BaTiO₃层，

在此，

所述（Bi，Na）TiO₃-BaTiO₃层形成在所述Na_xM_1-x层上，

M表示Pt、Ir或PtIr，

x表示0.002以上0.02以下的值，

所述Na_xM_1-x层和所述（Bi，Na）TiO₃-BaTiO₃层均仅具有（001）取向、仅具有（110）取向或仅具有（111）取向。

2.如权利要求1所述的压电体膜，其特征在于：

所述（Bi，Na）TiO₃-BaTiO₃层与所述Na_xM_1-x层接触。

3.如权利要求1所述的压电体膜，其特征在于：

所述（Bi，Na）TiO₃-BaTiO₃层还含有Mn。

4.一种喷墨头，其特征在于，具备：

具有由第一电极和第二电极夹着的压电体层的压电体膜；

与所述压电体膜接合的振动层；和

具有收容墨水的压力室、并且与所述振动层中所述压电体膜接合的面的相反侧的面接合的压力室部件，

所述振动层与所述压电体膜接合，使得所述振动层根据基于压电效应的所述压电体膜的位移在该振动层的膜厚方向上产生位移，

所述振动层与所述压力室部件相互接合，使得所述压力室的容积根据所述振动层的位移而变化，并且根据所述压力室的容积的变化，所述压力室内的墨水被喷出，

所述第一电极具备Na_xM_1-x层，

所述压电体层为（Bi，Na）TiO₃-BaTiO₃层，

所述（Bi，Na）TiO₃-BaTiO₃层形成在所述Na_xM_1-x层上，

M表示Pt、Ir或PtIr，

x表示0.002以上0.02以下的值，

所述Na_xM_1-x层和所述（Bi，Na）TiO₃-BaTiO₃层均仅具有（001）取向、仅具有（110）取向或仅具有（111）取向。

5.如权利要求4所述的喷墨头，其特征在于：

所述（Bi，Na）TiO₃-BaTiO₃层与所述Na_xM_1-x层接触。

6.如权利要求4所述的喷墨头，其特征在于：

所述（Bi，Na）TiO₃-BaTiO₃层还含有Mn。