[发明专利]共焦扫描仪及使用它的光学测量装置

权利要求书

1.一种共焦扫描仪，其特征在于，

由以下部分构成：

移动工作台，具有至少一轴的移动轴；

开口阵列，安装在上述移动工作台上，与上述移动工作台一起移动，具有多个共焦开口；

移动棱镜，安装在上述移动工作台上，与上述移动工作台一起移动；以及

固定棱镜，设置在上述移动工作台外，以通过与上述移动棱镜组合而构成等效的平行平面基板；

随着上述移动工作台的移动，上述等效的平行平面基板的厚度变化。

2.如权利要求1所述的共焦扫描仪，其特征在于，

还具备安装在上述移动工作台上、与上述移动工作台一起移动的、用来防止异物向上述开口阵列附着的至少一片保护透明板。

3.如权利要求1或2所述的共焦扫描仪，其特征在于，

上述开口阵列是针孔阵列，按照间隔P设置各针孔以发挥共焦效果；

在移动方向上相邻的针孔配置为，在与移动方向正交的方向上错开微小距离S，并且P/S为整数。

4.如权利要求1或2所述的共焦扫描仪，其特征在于，

上述开口阵列是狭缝阵列，各狭缝间在移动方向上隔开一定间隔P配置，以发挥共焦效果。

5.如权利要求1～4中任一项所述的共焦扫描仪，其特征在于，

上述移动棱镜及上述固定棱镜的一方，是具有相互以相等的角度相互向反方向相对于上述移动工作台的移动轴倾斜的两个面的棱镜；

上述移动棱镜及上述固定棱镜的另一方，是具有相对于长方体形状的部件形成有开口部的形状的棱镜，该开口部是上述一方的棱镜能够插拔的开口部，且被以相互相等的上述角度相互向相反方向相对于上述移动工作台的移动轴倾斜的两个面夹着。

6.如权利要求5所述的共焦扫描仪，其特征在于，

随着上述移动工作台的移动，上述一方的棱镜相对于上述另一方的棱镜的上述开口部插拔，从而上述等效的平行平面基板的厚度变化。

7.一种光学测量装置，是利用光的测量装置，其特征在于，

由以下部分构成：

权利要求1～6中任一项所述的共焦扫描仪；

物镜，在像面位置上配置有上述开口阵列；

照明光学系统，照射上述物镜的有效像面整体；

偏向光学元件，将由测量物体反射、入射到上述物镜中、通过上述开口阵列的物体反射光向与上述照明光学系统不同的方向偏向；

2维检测器，接收由上述偏向光学元件偏向后的上述物体反射光，进行光电变换，并作为图像信号输出；

成像光学系统，将上述开口阵列的像经由上述偏向光学元件成像到上述2维检测器上；

图像处理装置，将上述2维检测器的输出作为数字信号输入，使用得到的一系列的焦点位置不同的数据，探索带来最大值的焦点位置，根据探索出的焦点位置确定这一点的高度；

通过上述移动工作台以一定速度移动上述开口阵列及上述移动棱镜，在移动中通过上述2维检测器多次取得图像，将上述2维检测器的1次曝光时间设定为与上述开口阵列移动方向的开口排列周期的整数倍的移动时间相同。