[发明专利]等离子体发生装置、以及蒸镀装置和蒸镀方法

权利要求书

1.一种等离子体发生装置，其特征在于，包括：

腔室；

等离子体枪，该等离子体枪设置成朝向所述腔室的内部，且具有放出电子的阴极、和形成对所述阴极所放出的电子进行引导的磁通的收束线圈；以及

辅助磁铁，该辅助磁铁在所述腔室内形成磁通，

对所述收束线圈施加使磁通的方向发生变动的励磁电流。

2.如权利要求1所述的等离子体发生装置，其特征在于，

所述等离子体枪是在所述阴极与所述收束线圈之间设有第一电极及第二电极的压力梯度型等离子体枪，

所述第二电极在内部配置有电极内线圈，

对所述电极内线圈施加与所述励磁电流同步地发生变动的极内电流。

3.如权利要求2所述的等离子体发生装置，其特征在于，

所述励磁电流与所述极内电流具有同相位的周期相似的波形，使所述励磁线圈与所述电极内线圈形成相同极性的磁通。

4.如权利要求1至3的任一项所述的等离子体发生装置，其特征在于，

将所述辅助磁铁设置在所述腔室的与所述等离子体枪相反一侧的外侧，并使磁极的方向与所述等离子体枪的轴相交。

5.一种蒸镀装置，其特征在于，

具备权利要求1至4中的任一项所述的等离子体发生装置。

6.一种蒸镀装置，通过向保持被蒸镀物体的腔室内放出电子，由此来形成等离子体并进行蒸镀，其特征在于，

在对所述腔室内放出的电子进行引导的磁通的路径发生变化的同时进行蒸镀。

7.一种蒸镀方法，其特征在于，

通过向保持被蒸镀物体的腔室内放出电子来形成等离子体，并在对所述腔室内放出的电子进行引导的磁通的路径发生变化的同时进行蒸镀。