[发明专利]光扫描装置和图像形成装置

说明书

技术领域

本发明涉及一种具备使扫描用的激光偏转的MEMS镜的光扫描装置以及具备该光扫描装置的图像形成装置。

背景技术

以往，作为使扫描用的激光向感光体偏转的反射镜，已知的是往复振动的MEMS(Micro Electro Mechanical Systems：微机电系统)镜(例如参照专利文献1)。在专利文献1的图3中，附图标记8表示MEMS镜，附图标记a、b、c、d表示作为使MEMS镜8振动的驱动源的压电体。通过将驱动源a、b以相同相位进行驱动，将驱动源c、d以与驱动源a、b相反的相位进行驱动，使MEMS镜8产生扭转振动。由此，使入射到MEMS镜8的激光反射偏转来进行扫描。

另外，在专利文献1的图2中，记载了用于使驱动源a、b、c、d驱动的驱动电路的框图。在该专利文献1的图2中，由振荡器121a生成正弦波，该正弦波被输入到相位反转电路(phase inversion circuit)121b和相位移位器(phase shifter)121c。在相位移位器121c，生成图像信号与MEMS镜8的相位已被调整为相互对应的信号。然后，该信号通过放大器121e被放大电压后提供至驱动源a、b。另外，由振荡器121a生成的正弦波通过相位反转电路121b而相位反转，并经由相位移位器121d和放大器121f提供至驱动源c、d。

另外，在专利文献2中记载了如下技术：将镜的驱动部构成为一个具备线圈和永久磁铁的电磁致动器，利用使电流流过线圈时作用于永久磁铁的转矩，使镜振动。该技术也与所述专利文献1同样，采用由任意波形发生器产生正弦波之后通过放大器放大该正弦波的结构。

另外，在专利文献2中公开了由于环境变化、经时变化而变化的镜的位移角(偏转角)的校正技术。在该校正技术中，将接收被镜偏转的扫描光的受光元件配置在规定位置，取入该受光元件的输出，调整由任意波形发生器产生的正弦波的相位和振幅，使得扫描光在期望的时刻通过受光元件。

然而，所述专利文献1和专利文献2所记载的能够生成正弦波的振荡器或能够正确地放大正弦波的放大器的价格高。特别是如所述专利文献2所记载的那样的能够改变相位和振幅来生成正弦波的振荡器的价格更高。因此，在构成具备MEMS镜的、能够校正用于驱动MEMS镜的驱动电压从而补偿MEMS镜的偏转角的变化的光扫描装置或图像形成装置时，在成本方面有改善的余地。

专利文献1：日本专利公开公报特开2004-177543号

专利文献2：日本专利公开公报特开2008-40460号公报

发明内容

本发明的目的在于，廉价地提供对所述MEMS镜的驱动电压进行校正从而补偿使扫描用的激光偏转的MEMS镜的偏转角的变化的光扫描装置以及具备该光扫描装置的图像形成装置。

本发明的一方面所涉及的光扫描装置包括：光源；MEMS镜，使从所述光源输出的激光偏转；驱动部，利用以预先指定的基本周期变动的驱动电压使所述MEMS镜摇动；光检测部，在预先规定的位置接收由所述MEMS镜偏转的激光，输出表示接收了激光的检测信号；校正值计算部，基于由所述光检测部输出所述检测信号的时机计算校正电压值，所述校正电压值是在为了补偿所述MEMS镜的偏转角的变化而校正所述驱动电压时所使用的电压值；直流电压生成部，生成电压值低于所述校正电压值的直流电压；直流电压放大部，将由所述直流电压生成部生成的直流电压放大成与所述校正电压值相等的电压值；以及波形整形部，将由所述直流电压放大部放大的直流电压的波形整形成以所述基本周期变动，并将其作为所述驱动电压输出到所述驱动部。

根据该结构，由直流电压生成部生成电压值低于校正电压值的直流电压，所生成的直流电压通过直流电压放大部被放大成与校正电压值相等的电压值。然后，放大的直流电压的波形通过波形整形部被整形成以预先指定的基本周期变动，以基本周期变动的交流电压作为驱动电压输出到驱动部。

也就是说，无需具备可改变相位和振幅来生成正弦波的振荡器以及可正确地放大正弦波的放大器，而利用简单且廉价的直流电压生成部和直流电压放大部就能够驱动MEMS镜，而且能够校正驱动MEMS镜时的驱动电压从而补偿MEMS镜的偏转角的变化。由此，能够廉价地提供这样一种光扫描装置，即，其对驱动MEMS镜所需的驱动电压进行校正，从而补偿使扫描用的激光偏转的MEMS镜的偏转角的变化。

本发明的其它方面所涉及的图像形成装置具备：所述光扫描装置；以及图像形成部，包括由所述光扫描装置形成潜像的感光体，将与所述潜像相对应的图像形成在纸上。