[发明专利]用于太阳能电池的双侧电镀的基板承载装置

说明书

技术领域

本发明涉及一种用于支撑多个半导体晶片以对要用在太阳能电池中的这多个半导体晶片进行电镀的设备，更具体地涉及一种用于双侧电镀的承载装置。

背景技术

近来，由于全球环境问题、化石能源的耗尽、核能发电的废物处理以及建造新电厂的场所选择等而使得对新的可再生能源的兴趣越来越大。尤其是在作为非污染能源的太阳能发电领域中的研究和开发正在开展。地球从太阳接收到的能量的量是地球上的能量消耗的大约10,000倍。

太阳能电池是用来将太阳光电能量直接转换成电能的装置。太阳能电池由于其经济可行性而难以商业化。为了替代诸如化石能量等的传统发电手段，太阳能电池应当更经济或者在经济上比传统发电手段更具备竞争力。因而，太阳能技术集中在提高发电效率及其经济可行性的提高上。

为了制造这种太阳能电池，应当在晶片基板上形成预定电路。电镀是制造太阳能电池的最可行方法之一。在电镀时，利用电解原理将电镀材料电镀在位于负电极处的对象的表面上。正电极和负电极以及电解液作为基本元素而包括于电解电镀中。此外，待电镀的金属以离子形式存在于电解液中。通常，进行将晶片沉浸在电镀槽中的过程。也就是说，为了进行电镀，通过在用预定夹具保持晶片的状态下将晶片沉浸在电镀溶液中而对晶片进行电镀。如上所述，在用于制造太阳能电池的各种过程中，在进行通过电镀形成电极图案的过程、将光致抗蚀剂分层的过程中以及深蚀刻过程的情况下，用于支撑并承载多个硅晶片的基板承载装置是必不可少的。

然而，在将晶片装载在基板承载装置上/从基板承载装置上卸载晶片时花费一些时间。将晶片装载在基板承载装置上/从基板承载装置上卸载晶片所需的时间对太阳能电池基板的生产能力和经济可行性具有很大影响。因此，能够将更多晶片快速地装载在承载装置上/从承载装置卸载的技术非常重要。

当晶片基板被装载并固定至支撑框架时，通常使用许多螺钉或夹子一个一个地固定晶片。此外，装载和卸载过程花费许多时间，这是因为夹子需要一个一个地释放。

为了解决上述限制，发明人在进行长期研究之后完成了本发明。

发明内容

技术问题

本发明的目的是提供一种用于太阳能电池的基板承载装置。

（1）本发明的基板承载装置用于在晶片的双侧上形成电极的电镀过程。

（2）当将晶片装载在承载装置上和从承载装置卸载时，本发明的基板承载装置确保能够容易地将晶片附装至承载装置和从承载装置容易地拆卸。该承载装置节省电镀过程所需的时间，因而可以降低太阳能电池的制造成本。

（3）能够同时对多个晶片进行电镀。

在通过如下描述以及本发明的效果而能够容易地分析的范围内能够另外考虑未在说明书中描述的本发明的其它目的。

技术方案

本发明的实施方式提供了一种用于电镀太阳能电池的基板承载装置，该装置使晶片的两个表面同时被电镀，该装置包括：框架，基板被接收在该框架中；连接至传送装置的支撑部；在所述框架中限定的具有开口形区域的晶片接收区域，该晶片接收区域通过形成在所述框架的边缘上的多个第一突出支撑部和多个第二突出支撑部而支撑要接收的晶片的边缘；至少两个夹子安装杆，所述至少两个夹子安装杆在所述晶片接收区域的左右两侧被竖直地安装而横过所述框架的第一表面，以在固定位置旋转时控制夹子打开（与所述晶片形成接触点）和夹子闭合（释放与所述晶片的接触点）；多个第一夹子，所述多个第一夹子彼此间隔开预定距离地安装在所述夹子安装杆上，所述多个第一夹子的打开和闭合由所述夹子安装杆的旋转来确定；以及多个第二夹子，所述多个第二夹子在所述框架的第二表面上围绕所述晶片接收区域安装，以穿过限定在所述第二突出支撑部中的孔，所述多个第二夹子具有被布置成比所述第二突出支撑部的表面高的端部。

在一些实施方式中，所述装置可以进一步包括基部，所述第一突出支撑部和所述第二突出支撑部形成在该基部上，其中所述基部可进一步包括从所述框架朝向所述晶片接收区域形成的倾斜表面，以在所述晶片被装载在所述基板承载装置上时通过所述倾斜表面将所述晶片引导到所述晶片接收区域。

在其它实施方式中，所述夹子安装杆的上端可以被插入上端杆固定部中限定的孔内，所述夹子安装杆的下端可以被插入下端杆固定部中限定的孔内；并且所述上端通过弹簧构件可以连接至所述上端杆固定部，并且所述夹子安装杆的夹子打开和夹子闭合可以利用所述弹簧构件的弹性力来操纵。