[发明专利]水分量变动检测装置、水分量变动检测方法、真空计以及真空度变动检测方法

权利要求书

1.一种水分量变动检测装置，具备：

硅气凝胶，被配置为在测量对象空间中露出；以及

检测部，检测所述测量对象空间中的水分量变动，

所述检测部具有：

光源，向所述硅气凝胶照射具有1850nm以上且1970nm以下的至少一部分波长区域的光；

受光部，接受透过所述硅气凝胶的光中的、具有1850nm以上且1970nm以下的至少一部分波长区域的光；以及

运算部，根据由所述受光部接受的光的强度，运算所述测量对象空间中的水分量变动。

2.如权利要求1所述的水分量变动检测装置，

在所述硅气凝胶中，

具有孔径主要是10nm以上的贯通孔，

比表面积是400m²/g以上且800m²/g以下，

密度是50kg/m³以上且500kg/m³以下。

3.如权利要求1或者2所述的水分量变动检测装置，

所述检测部还具有光强度存储部，该光强度存储部存储接受的光的光强度，

所述运算部，根据所述受光部接受的光的光强度与在所述光强度存储部存储的所述光强度的差分，参考光强度的变动量与水分量的变动量相对应的关系，运算水分量的变动。

4.如权利要求1或者2所述的水分量变动检测装置，

所述运算部，参考所述受光部接受的光的光强度、以及光强度的变动量与水分量的变动量相对应的关系，运算每单位体积的水分含量。

5.如权利要求1至4的任一项所述的水分量变动检测装置，

从所述光源照射的光，还具有600nm以上且小于1850nm以及大于1970nm且2000nm以下的至少一部分波长区域，

所述受光部还接受具有600nm以上且小于1850nm以及大于1970nm且2000nm以下的至少一部分波长区域的光，

所述受光部，根据由所述受光部接受的具有600nm以上且小于1850nm以及大于1970nm且2000nm以下的至少一部分波长区域的光的强度与具有1850nm以上且1970nm以下的至少一部分波长区域的光的强度的比的变化量，来检测所述测量对象空间中的水分量变动。

6.权利要求1至4的任一项所述的水分量变动检测装置，

所述测量对象空间是压力可变的腔体内的空间，

所述腔体具有一个以上的测量窗，该测量窗能够使具有1850nm以上且1970nm以下的至少一部分波长区域的光透过，

来自被配置在所述腔体的外部的所述光源的光，通过所述测量窗，照射到被配置在所述腔体内的所述硅气凝胶，

照射到所述硅气凝胶的光中的透过所述硅气凝胶的光，通过所述测量窗，由被配置在所述腔体的外部的所述受光部接受。

7.如权利要求5所述的水分量变动检测装置，

所述测量对象空间是压力可变的腔体内的空间，

所述腔体具有一个以上的测量窗，该测量窗能够使具有1850nm以上且1970nm以下的至少一部分波长区域的光、和具有600nm以上且小于1850nm以及大于1970nm且2000nm以下的至少一部分波长区域的光透过，

来自被配置在所述腔体的外部的所述光源的光，通过所述测量窗，照射到被配置在所述腔体内的所述硅气凝胶，

照射到所述硅气凝胶的光中的透过所述硅气凝胶的光，通过所述测量窗，由被配置在所述腔体的外部的所述受光部接受。

8.如权利要求1至7的任一项所述的水分量变动检测装置，

所述测量对象空间是压力可变的腔体内的空间，

所述光源和所述受光部被配置在所述腔体的外部，

从所述光源照射的光，经由射出用光导纤维照射到被配置在所述腔体内的所述硅气凝胶，

照射到所述硅气凝胶的光中的透过所述硅气凝胶的光，经由受光用光导纤维，由被配置在所述腔体的外部的所述受光部接受。