[发明专利]透明电极及其制造方法

权利要求书

1.一种透明电极，其具有：

支撑基板、

设置于所述支撑基板上的第一透明导电性膜、

设置于所述第一透明导电性膜上的透明绝缘性膜、以及

设置于所述透明绝缘性膜上的第二透明导电性膜，

所述第一透明导电性膜和所述第二透明导电性膜以及在它们之间设置的所述透明绝缘性膜全部包含金属化合物，

所述第一透明导电性膜和所述第二透明导电性膜具有结晶结构，所述透明绝缘性膜具有非晶结构。

2.根据权利要求1所述的透明电极，其特征在于，

作为构成所述金属化合物的金属元素，所述第一透明导电性膜、所述第二透明导电性膜和所述透明绝缘性膜之间全部包含相同的金属元素。

3.根据权利要求1所述的透明电极，其特征在于，

所述金属化合物为锌化合物。

4.根据权利要求2所述的透明电极，其特征在于，

所述第一透明导电性膜和所述第二透明导电性膜至少包含氧化锌，所述透明绝缘性膜至少包含氢氧化锌。

5.根据权利要求1所述的透明电极，其特征在于，

所述第一透明导电性膜和所述第二透明导电性膜的所述结晶结构呈针状结晶。

6.根据权利要求5所述的透明电极，其特征在于，

所述针状结晶沿着相对所述支撑基板垂直的方向取向。

7.根据权利要求5所述的透明电极，其特征在于，

所述第一透明导电性膜和所述第二透明导电性膜至少包含氧化锌，所述透明绝缘性膜至少包含氢氧化锌，

所述透明绝缘性膜中包含的所述氢氧化锌具有球状。

8.根据权利要求1所述的透明电极，其特征在于，

所述第一透明导电性膜和所述第二透明导电性膜各自的厚度为2μm以下。

9.根据权利要求1所述的透明电极，其特征在于，

所述第一透明导电性膜、所述第二透明导电性膜和所述透明绝缘性膜中的至少一个含有第3B族元素。

10.根据权利要求9所述的透明电极，其特征在于，

所述第一透明导电性膜和所述第二透明导电性膜含有第3B族元素。

11.根据权利要求10所述的透明电极，其特征在于，

所述第一透明导电性膜中含有的第3B族元素与所述第二透明导电性膜中含有的第3B族元素为相互不同种类的元素。

12.根据权利要求1所述的透明电极，其特征在于，

具有所述第一透明导电性膜和所述第二透明导电性膜被图案化后的形态。

13.根据权利要求1所述的透明电极，其特征在于，

所述支撑基板和所述第一透明导电性膜之间设置有阻气膜。

14.根据权利要求1所述的透明电极，其特征在于，

在所述第二透明导电性膜上交替设置至少另一个透明绝缘性膜和至少另一个透明导电性膜，由此，具有在所述支撑基板上透明导电性膜和透明绝缘性膜交替地层叠多个的结构。

15.根据权利要求1所述的透明电极，其特征在于，

所述透明电极是用于触控面板的透明电极。

16.一种透明电极的制造方法，其中，

对加热到规定温度的支撑基板依次涂布第一透明导电性膜原料、透明绝缘性膜原料和第二透明导电性膜原料，由此在该支撑基板上层叠形成第一透明导电性膜、透明绝缘性膜和第二透明导电性膜，

所述制造方法包含如下工序，即，

(i)在所述支撑基板上涂布所述第一透明导电性膜原料，在该支撑基板上形成所述第一透明导电性膜的工序，

(ii)在所述第一透明导电性膜上涂布所述透明绝缘性膜原料，在该第一透明导电性膜上形成所述透明绝缘性膜的工序，以及

(iii)在所述透明绝缘性膜上涂布所述第二透明导电性膜原料，在该透明绝缘性膜上形成所述第二透明导电性膜的工序，

所述第一透明导电性膜原料、所述透明绝缘性膜原料和所述第二透明导电性膜原料全部是包含有机金属化合物和有机溶剂的原料，在工序(i)和(iii)中形成的所述第一透明导电性膜和所述第二透明导电性膜具有结晶结构，在工序(ii)中形成的所述透明绝缘性膜具有非晶结构。