[发明专利]致动器及具有该致动器的精密机械

权利要求书

1.一种致动器，该致动器具有：

驱动带，其被架设在驱动带轮与从动带轮之间；

两条导轨，它们排列配置在所述驱动带的宽度方向两侧；

两个滑动件，它们通过所述驱动带的驱动沿着各所述导轨往复运动；以及

连接板，所述两个滑动件隔开规定的间隔固定于该连接板，所述驱动带被固定在所述两个滑动件之间，

所述驱动带配置在所述两个滑动件的重心位置或者其附近，

所述驱动带与所述滑动件的接合部位仅是所述连接板的固定有两个滑动件的部分之间的部分。

2.根据权利要求1所述的致动器，其中，所述致动器具有覆盖所述驱动带的罩，所述罩能够从所述连接板的相反侧进行装卸。

3.根据权利要求1所述的致动器，其中，

所述导轨具有凹状的截面形状，

所述滑动件具有与所述导轨之间形成静压空气轴承的静压垫。

4.一种精密机械，该精密机械具有权利要求1～3中任意一项所述的致动器作为直线引导致动器。