[发明专利]同时执行电镀和光诱导镀的用于太阳能电池基板的镀设备和镀方法

权利要求书

1.一种镀设备，所述镀设备包括：

夹具，所述夹具保持将在镀槽的中心处进行镀处理的晶圆使得所述晶圆垂直地浸没在所述镀槽中的镀溶液中；

第一镀单元，所述第一镀单元包括对称地布置在所述镀槽的两侧并且面对所述晶圆的多个阳极部件，所述第一镀单元执行电镀；以及

第二镀单元，所述第二镀单元被布置在相对于所述第一镀单元被物理地阻隔的光源容纳单元中，所述第二镀单元被布置在所述阳极部件的后面以通过使用将光照射到所述晶圆上的LED灯来执行光诱导镀，

其中，所述多个阳极部件具有相同的宽度并且在所述镀槽中以与每个阳极部件的宽度相同的距离彼此隔开，并且

当执行所述光诱导镀时，所述夹具被控制为将所述晶圆在所述镀溶液中在平行于所述阳极部件的方向上移动，使得其上从所述LED灯发射的光的接收由于所述阳极部件的位置而中断的区域均匀地分布在所述晶圆的表面上。

2.根据权利要求1所述的镀设备，其中，屏障件布置在所述第一镀单元与所述第二镀单元之间以防止所述镀槽中的所述镀溶液渗透到所述光源容纳单元中，并且所述屏障件由透射光的透明材料形成。

3.根据权利要求2所述的镀设备，其中，在所述光源容纳单元的与所述镀槽相对的表面中布置有通风孔或吹风机以防止当所述LED灯操作时在所述屏障件上生成露水。

4.根据权利要求1所述的镀设备，其中，如果所述第二镀单元执行所述光诱导镀，在所述晶圆的表面上形成晶种层，并且然后，通过使用所述第一镀单元单独执行电镀，或者通过使用所述第一镀单元同时执行所述电镀和所述光诱导镀。

5.一种使用包含镀溶液的镀槽的用于太阳能电池晶圆的镀方法，所述镀方法包括：

(a)通过使用LED灯将用于执行光诱导镀的光照射到是将要镀的对象的垂直地浸没在镀槽的中心处的晶圆上以在所述晶圆的两个表面中的每一个上形成晶种层，所述LED灯分别布置在所述镀槽的两侧表面上；以及

(b)通过使用布置在所述LED灯中的每一个LED灯的前侧的阳极部件在所述晶圆的其上形成有所述晶种层的两个表面上执行电镀，其中，多个阳极部件具有相同的宽度并且在所述镀槽中以与每个阳极部件的宽度相同的距离彼此隔开。

6.根据权利要求5所述的镀方法，

其中，执行电镀的步骤(步骤(b))包括在所述LED灯关闭或开启的状态下执行所述电镀。

7.根据权利要求5所述的镀方法，

其中，在通过所述LED灯来执行所述光诱导镀的同时，所述晶圆在所述镀溶液内与所述阳极部件平行地移动。