[发明专利]3D纳米微粒集合结构体及使用它的气体传感器

权利要求书

1.一种3D纳米微粒结构体，其特征在于，通过集合纳米微粒而形成的多个结构体相互连接以形成桥。

2.根据权利要求1所述的3D纳米微粒结构体，其特征在于，通过集合纳米微粒而形成的所述多个结构体具有花瓣形状，相邻的花瓣相互连接以形成桥。

3.根据权利要求1所述的3D纳米微粒结构体，其特征在于，所述纳米微粒为金属纳米微粒。

4.根据权利要求1所述的3D纳米微粒结构体，其特征在于，所述纳米微粒为金属氧化物纳米微粒。

5.采用权利要求4所述的3D纳米微粒结构体的气体传感器。

6.一种用于制造如权利要求1所述的纳米微粒结构体的方法，其特征在于，包括步骤：

1）将衬底设置在反应器内，并随后施加电场；其中所述衬底具有由带有穿孔图案的掩膜层所形成的微米/纳米图案；

2）通过在火花放电室内对纳米微粒前体进行火花放电而产生带电纳米微粒和离子；以及

3）将所述带电纳米微粒和离子引入至所述反应器内，并随后在所述衬底的所述微米/纳米图案的穿孔部分上聚焦沉积纳米微粒。

7.根据权利要求6所述的方法，其特征在于，还包括步骤：在执行所述步骤2）之前，通过电晕放电产生离子，随后在所述衬底的微米/纳米图案上积聚离子；其中所述衬底设置在所述反应器内。

8.一种用于制造如权利要求4所述的纳米微粒结构体的方法，其特征在于，如权利要求1-3中任一项所述的纳米微粒结构体在包含氧气的气氛下进行加热。