[发明专利]半导体模块有效
申请号: | 201380003701.4 | 申请日: | 2013-10-25 |
公开(公告)号: | CN103918066A | 公开(公告)日: | 2014-07-09 |
发明(设计)人: | 须永崇;金子昇;三好修 | 申请(专利权)人: | 日本精工株式会社 |
主分类号: | H01L21/60 | 分类号: | H01L21/60;H01L25/07;H01L25/18 |
代理公司: | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人: | 李辉;徐丹 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 半导体 模块 | ||
1.一种半导体模块,其特征在于,
具有:金属制的基板;形成于该基板之上的绝缘层;形成于该绝缘层上的多个布线图案;通过焊锡封装于该多个布线图案中的一个布线图案的晶体管裸芯片;以及用于通过焊锡使形成于该晶体管裸芯片的上表面的电极和所述多个布线图案中的其他布线图案接合的、由铜板构成的铜连接器,
所述铜连接器具有平板部、以从该平板部的一端朝向下方延伸的方式弯折的与所述电极接合的第一支脚部、以及以从所述平板部的另一端朝向下方延伸的方式弯折的与所述其他布线图案接合的第二支脚部,而形成桥形,
在所述第一支脚部的与所述电极接合的接合面附近设置与所述第一支脚部的其他部分相比宽度窄的窄幅部,并且,在所述第一支脚部的与所述电极接合的接合面设置具有缓和作用于该接合面的应力的形状的应力缓和部。
2.根据权利要求1所述的半导体模块,其特征在于,
在所述接合面形成有缺口部作为所述应力缓和部。
3.根据权利要求1或2所述的半导体模块,其特征在于,
利用薄板形成所述接合面作为所述应力缓和部。
4.根据权利要求1~3中任意一项所述的半导体模块,其特征在于,
在所述接合面的角部形成倒角部作为所述应力缓和部。
5.根据权利要求1~4中任意一项所述的半导体模块,其特征在于,
在上所接合面的中央形成孔作为所述应力缓和部。
6.根据权利要求1~5中任意一项所述的半导体模块,其特征在于,
在所述第一支脚部和所述第二支脚部分别形成缓和作用于所述接合面的应力的哑铃形状的哑铃部。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造