[发明专利]流化床反应器设备用的高温级钢

权利要求书

1.一种用在加热过的硅沉积反应器中的反应室衬管，所述衬管具有内表面，其被构造为限定出反应室的一部分，所述内表面包含：

上部；

中部，所述中部包含不同于不锈钢合金的材料；以及

下部，其中所述下部的内表面的至少一部分为马氏体不锈钢合金。

2.权利要求1的衬管，其中所述不锈钢合金包含小于20％(w/w)的铬和小于3％(w/w)的镍。

3.权利要求2的衬管，其中所述不锈钢合金包含小于1％(w/w)的镍。

4.权利要求1的衬管，其中所述不锈钢合金不包含铜或硒。

5.权利要求1的衬管，其中所述不锈钢合金包含11～18％(w/w)的铬。

6.权利要求5的衬管，其中所述不锈钢合金包含11.5～13.5％(w/w)的铬和0.7～0.8％(w/w)的镍。

7.权利要求6的衬管，其中所述不锈钢合金还包含≤0.15％(w/w)的碳、≤1％(w/w)的硅、≤1％(w/w)的锰、≤0.04％(w/w)的磷和≤0.03％(w/w)的硫。

8.权利要求5的衬管，其中所述不锈钢合金包含12～14％(w/w)的铬和小于0.5％(w/w)的镍。

9.权利要求8的衬管，其中所述不锈钢合金还包含≤0.15％(w/w)的碳、≤1％(w/w)的硅、≤1％(w/w)的锰、≤0.04％(w/w)的磷和≤0.03％(w/w)的硫。

10.权利要求5的衬管，其中所述不锈钢合金包含16～18％(w/w)的铬和小于0.5％(w/w)的镍。

11.权利要求10的衬管，其中所述不锈钢合金还包含0.5～1.5％(w/w)的碳、≤1％(w/w)的硅、≤1％(w/w)的锰、≤0.04％(w/w)的磷和≤0.03％(w/w)的硫。

12.权利要求1的衬管，其中所述不锈钢合金具有大于40Rc的洛氏硬度。

13.权利要求12的衬管，其中所述洛氏硬度为45～60R_c。

14.权利要求1的衬管，其中所述不锈钢合金在0℃～315℃的温度范围内的平均热膨胀系数小于15×10^-6m/m·℃。

15.权利要求14的衬管，其中所述平均热膨胀系数为9.9×10^-6m/m·℃～11.5×10^-6m/m·℃。

16.权利要求14的衬管，其中所述平均热膨胀系数为10.7×10^-6m/m·℃～10.9×10^-6m/m·℃。

17.权利要求14的衬管，其中所述平均热膨胀系数为11.3×10^-6m/m·℃～11.5×10^-6m/m·℃。

18.权利要求14的衬管，其中所述平均热膨胀系数为10.0×10^-6m/m·℃～10.2×10^-6m/m·℃。

19.权利要求1的衬管，其中通过对不锈钢合金体进行机械加工并随后通过热处理对所述不锈钢合金进行硬化和任选地回火，来制备所述衬管的下部。

20.权利要求1的衬管，其中所述衬管的上部的组成与所述下部的基本类似。

21.权利要求1的衬管，其中所述中部的内表面的至少一部分为陶瓷、石墨或玻璃。

22.权利要求21的衬管，其中所述中部基本由陶瓷、石墨或玻璃构成。

23.权利要求21的衬管，其中所述陶瓷为碳化硅或氮化硅。

24.权利要求21的衬管，其中所述玻璃为石英。

25.一种加热过的硅沉积反应器系统，其包含：

容器，所述容器具有外壁；

至少一个加热器，所述加热器位于所述外壁内部；

权利要求1～24中任一项的衬管，其中所述衬管位于所述至少一个加热器内部，使得所述衬管的内表面限定出反应室的一部分；

具有开口的至少一个入口，其被放置以允许包含含硅气体的初级气体进入所述反应室；

多个流化入口，其中各个流化入口具有向所述反应室内开口的出口；以及

至少一个出口，所述出口用于从所述容器移出硅包覆的产品粒子。