[发明专利]螺纹喷嘴和可关闭喷嘴阀组件

权利要求书

1.一种用于流化床反应器的喷嘴组件，包括：

第一部件，所述第一部件被构造成从流化床反应腔室的底壁向上延伸，当所述喷嘴安装在包括所述流化床反应腔室的流化床反应器中时，所述第一部件具有在第一端处的入口和在远端处的面向上的出口，所述第一端位于所述流化床反应腔室的底壁处或在所述底壁下方，所述远端位于所述入口的上方，其中，所述第一部件限定了与所述入口及所述出口流体连通的通道，所述第一部件还包括邻近所述出口的螺纹；和

第二部件，所述第二部件具有在第一端处的入口和在第二端处的面向上的孔口，其中，所述第二部件限定了与该入口及所述出口流体连通的通道，并且其中，该入口与所述第一部件的出口流体连通，所述第二部件还包括邻近该入口的螺纹，其中该螺纹被定位并以相配合的方式确定尺寸以与所述第一部件上的螺纹接合，从而将所述第一部件和所述第二部件以可拆卸方式装配在一起。

2.根据权利要求1所述的喷嘴组件，其中，所述第一部件是直线形的，或所述第二部件是直线形的，或者所述第一部件和所述第二部件二者都是直线形的。

3.根据权利要求1所述的喷嘴组件，其中，所述第一部件的入口与气体源流体连通。

4.根据权利要求3所述的喷嘴组件，其中，所述气体源是载硅气体的气体源。

5.根据权利要求1所述的喷嘴组件，其中，所述喷嘴组件还包括位于所述通道中的至少一个内的孔板，以限制经过所述通道的气体流动，当所述第一部件和所述第二部件未装配在一起时，所述孔板能够被移除。

6.根据权利要求1所述的喷嘴组件，其中，所述第一部件的螺纹在与所述第一部件的出口邻近的外壁表面上，并且，所述第二部件的螺纹在与所述第二部件的入口邻近的内壁表面上。

7.根据权利要求1所述的喷嘴组件，其中，所述第一部件的螺纹在与所述第一部件的出口邻近的内壁表面上，并且，所述第二部件的螺纹在与所述第二部件的入口邻近的外壁表面上。

8.根据权利要求1到7中的任一项所述的喷嘴组件，还包括绝缘部件，所述绝缘部件围绕所述第一部件、所述第二部件或围绕所述第一部件和所述第二部件这二者定位。

9.根据权利要求1到7中的任一项所述的喷嘴组件，还包括围绕所述第一部件、所述第二部件或围绕这二者定位的管状的外部件，其中，所述外部件具有与所述第一部件的外表面、所述第二部件的外表面或者所述第一部件及第二部件这两者的外表面间隔开的壁，由此限定了所述外部件的壁与所述外表面之间的环形空间。

10.根据权利要求9所述的喷嘴组件，其中，所述环形空间与气体源流体连通。

11.根据权利要求9所述的喷嘴组件，还包括围绕所述外部件定位的绝缘部件。

12.一种用于加热的硅沉积反应器系统的可关闭喷嘴组件，包括：

喷嘴，所述喷嘴被构造成向上延伸到加热的硅沉积反应器系统的反应腔室中，所述喷嘴包括：

入口，所述入口与气体源流体连通，和

面向上的孔口，所述孔口与所述入口流体连通并定位成将气体向上喷射到所述反应腔室中；以及

阀组件，所述阀组件连接到所述喷嘴，所述阀包括：

阀本体，和

门，所述门以枢转方式连接到所述阀本体，其中，所述门能够在第一位置和第二位置之间移动，当不存在气体流动时，所述孔口在所述第一位置被至少部分覆盖，而当气体流过所述孔口时，所述孔口在所述第二位置未被覆盖。

13.根据权利要求12所述的可关闭喷嘴组件，还包括围绕所述喷嘴定位的绝缘部件。