[发明专利]红外线传感器

说明书

技术领域

本发明涉及一种检测来自测定对象物的红外线来测定该测定对象物的温度的红外线传感器。

背景技术

以往，作为以非接触方式检测通过辐射从测定对象物发射的红外线来测定测定对象物的温度的温度传感器，使用红外线传感器。

例如，专利文献1中提出有如下红外线温度传感器，其具备：树脂薄膜，设置于保持体；红外线检测用热敏元件，设置于该树脂薄膜且经由保持体的导光部检测红外线；及温度补偿用热敏元件，以遮光状态设置于树脂薄膜且检测保持体的温度。在该红外线温度传感器中，在树脂薄膜的端部连接有多条引线。

并且，在专利文献2中记载有如下非接触温度传感器，其具备：第1壳体部，形成有红外线的射入孔；第2壳体部，具有与射入孔对置的射入孔对置面部；基体，配置于第1壳体部与第2壳体部的射入孔对置面部之间，并且安装于射入孔对置面部的第1壳体部侧，并进行从射入孔射入的红外线的热转换；及第1热敏元件，设置于基体并感知红外线的热量。在该非接触温度传感器中，热敏元件设置于树脂薄膜，在该树脂薄膜的端部连接有多条引线。

专利文献1：日本专利公开2002-156284号公报

专利文献2：日本专利公开2006-118992号公报

发明内容

上述以往的技术中留有以下课题。

在以往的红外线传感器中，为了降低成本而汇集于连接器，并且为了从一侧取出多条引线，使多条引线连接于树脂薄膜的相同的端部。此时，存在如下问题：根据一对热敏元件的配置从热敏元件到引线的连接部的配线距离相互不同，并且来自引线的热传导不同从而灵敏度根据温度而不同。即，存在如下不良情况：长度不同的彼此的配线膜的热电阻不同而导致一对热敏元件的热平衡(热流入的平衡)被破坏。因此，难以通过一对热敏元件准确地检测温度。为了使彼此的配线膜的热电阻相同，也可以考虑加宽配线距离较长的配线膜的宽度的方法，但是若加宽配线膜的宽度，则容易与组装红外线传感器的箱体接触而有可能短路，因此不优选。

本发明是鉴于上述课题而完成的，其目的在于提供一种即使在一侧连接有引线，也能够不破坏热平衡而高精度地测定测定对象物的温度的红外线传感器。

本发明为了解决上述课题而采用了以下结构。即，第1发明所涉及的红外线传感器的特征在于，具备：绝缘性薄膜；第1热敏元件及第2热敏元件，在该绝缘性薄膜的一面上彼此隔开而设置；连接于所述第1热敏元件的导电性的第1配线膜及连接于所述第2热敏元件的导电性的第2配线膜，所述第1配线膜及所述第2配线膜形成于所述绝缘性薄膜的一面；红外线反射膜，与所述第2热敏元件对置而设置于所述绝缘性薄膜的另一面；多个端子电极，设置于所述绝缘性薄膜的相同的端部侧且连接于对应的所述第1配线膜和所述第2配线膜；及热电阻调整膜，设置于所述绝缘性薄膜的另一面并且与在所述第1配线膜和所述第2配线膜中距所述端子电极的配线距离较长的配线膜的至少一部分对置且由散热性比所述绝缘性薄膜高的材料形成。

在该红外线传感器中，具备热电阻调整膜，该热电阻调整膜设置于绝缘性薄膜的另一面并且与在第1配线膜和第2配线膜中距端子电极的配线距离较长的配线膜的至少一部分对置且由散热性比绝缘性薄膜高的材料形成，因此能够设定为根据热电阻调整膜的配置、形状及面积，调整配线距离的较长的一配线膜的热电阻以使其与另一配线膜的热电阻相同，从而能够得到良好的热平衡。即，由散热性比绝缘性薄膜高的金属膜等材料形成的热电阻调整膜具有作为使对置的配线距离较长的一配线膜根据配置、形状及面积而散热的散热板的效果，由此能够调整热流入的平衡。因此，相对于连接于端子电极的引线在一对热敏元件之间能够使热电阻平衡，因此能够改善温度特性。并且，无需加宽配线膜的宽度，因此也不会发生因配线膜与箱体的接触而引起的短路。而且，热电阻调整膜形成于与配线膜相反侧的绝缘性薄膜的另一面，因此配置位置、形状及面积等设计自由度较高，并且通过绝缘性薄膜与配线膜电绝缘，因此也不会短路。

第2发明所涉及的红外线传感器的特征在于，在第1发明中，所述热电阻调整膜由与所述红外线反射膜相同的材料图案形成。

即，在该红外线传感器中，热电阻调整膜由与红外线反射膜相同的材料形成，因此在形成红外线反射膜时也能够同时图案形成热电阻调整膜，从而能够实现制造工序的减少。

第3发明所涉及的红外线传感器的特征在于，在第1或者第2发明中，所述第1配线膜配置至所述第1热敏元件的周围，且以大于所述第2配线膜的面积形成，所述热电阻调整膜形成于除了与在所述第1配线膜的所述第1热敏元件的周围配置的部分对置的区域以外的区域。