[发明专利]非晶形薄膜的形成装置

权利要求书

1.一种非晶形薄膜的形成装置，其特征在于，其为从喷射机向基材喷射含有材料粒子的火焰，通过火焰使该材料粒子熔融后，将该材料粒子及火焰从达到基材之前开始冷却的非晶形薄膜的形成装置，

以使含有材料粒子的所述火焰的横截面为横长的方式，在喷射机的前面沿直线连续地设置材料粒子喷射口及火焰喷射口，

在夹着这些材料粒子喷射口及火焰喷射口的两侧的位置，沿所述直线连续地设置用于对火焰进行整流并使其冷却的惰性气体的喷射口，并且，

在夹着所述材料粒子喷射口、火焰喷射口及惰性气体的喷射口的两侧的位置，沿所述直线连续地设置用于冷却火焰的雾的喷射口。

2.根据权利要求1所述的非晶形薄膜的形成装置，其特征在于，雾的喷射口，其角度以喷射的雾接近所述火焰的方式而被决定，并且该角度能够变更。

3.根据权利要求2所述的非晶形薄膜的形成装置，其特征在于，

对于所述惰性气体及雾，能够分别变更喷射的压力。

4.根据权利要求1-3中任一项所述的非晶形薄膜的形成装置，其特征在于，

作为所述雾，喷射水雾，在该喷射时，从所述火焰喷射口喷射的氧为完全燃烧所需的氧量的50～80％。

5.根据权利要求1-4中任一项所述的非晶形薄膜的形成装置，其特征在于，

所述惰性气体及雾能够以如下方式喷射：能够以40万～100万℃/秒的速度冷却含有材料粒子的火焰。

6.根据权利要求1-5中任一项所述的非晶形薄膜的形成装置，其特征在于，

雾的喷射口作为沿所述直线延伸的狭缝状的开口而设置。

7.根据权利要求1-6中任一项所述的非晶形薄膜的形成装置，其特征在于，

具有包围所述材料粒子喷射口、火焰喷射口及惰性气体的喷射口并向它们的前方延伸的筒状体。

8.根据权利要求1-7中任一项所述的非晶形薄膜的形成装置，其特征在于，

材料粒子的喷射口，关于与所述直线呈直角并位于喷射机的中央的假想平面而对称地并连续地配置有多个，

向这些喷射口的材料粒子的供给，从能够分别调整材料粒子的供给量和输送气体的流量的多个供给管穿过分支通路而进行，所述分支通路，关于所述假想平面而对称地形成，并且使从所述供给管到各喷射口的通路长度相同。

9.根据权利要求1-8中任一项所述的非晶形薄膜的形成装置，其特征在于，

含有材料粒子的所述火焰的横截面的长度尺寸为150mm以上，沿所述直线形成的惰性气体的喷射口及所述雾的喷射口的连续的长度尺寸也为150mm以上。

10.一种非晶形薄膜的形成方法，其特征在于，

使用权利要求1-9所述的非晶形薄膜的形成装置，根据材料粒子的化学成分，变更所述雾的喷射口的角度、以及所述惰性气体及雾的喷射压力。