[发明专利]利用不对称偏振的干涉仪及利用其的光学装置

权利要求书

1.一种干涉仪，其特征在于，包括：

第1波长板(370)，其设置在光源产生的光的进行方向；

第1偏振分束器(310)，其以第1方向反射通过所述第1波长板(370)的光的一部分，以第2方向透射光的一部分；

第2波长板(340)，其配置在以所述第1方向反射的光的进行方向；

第3波长板(350)，其配置在以所述第2方向透射的光的进行方向；

测量目标物(320)，其配置在通过所述第2波长板(340)的光的进行方向；

基准镜面(330)，其配置在通过所述第3波长板(350)的光的进行方向；及

第1偏振板(360)，在所述测量目标物(320)反射的光通过所述第2波长板(340)之后，透射所述第1偏振分束器(310)的光及在所述基准镜面(330)反射的光通过所述第3波长板(350)之后，其

配置在在所述第1偏振分束器(310)反射的光的进行方向。

2.一种干涉仪，其特征在于，包括：

第1波长板(370)，其设置在在光源产生的光进行方向；

第1偏振分束器(310)，其以第1方向反射通过所述第1波长板(370)的光的一部分，以第2方向透射光的一部分；

测量目标物(320)，其配置在以所述第1方向反射的光的进行方向；

基准镜面(330)，其配置在以所述第2方向透射的光的进行方向；

第4波长板(341)，其配置在在所述测量目标物(320)反射的光的进行方向；

第5波长板(351)，其配置在在所述基准镜面(330)反射的光的进行方向；

第2偏振分束器(311)，其配置在通过所述第4波长板(341)及第5波长板(351)的光的进行方向；及

第1偏振板(360)，其配置在透射所述第2偏振分束器(311)的光的进行方向。

3.根据权利要求1或2所述的干涉仪，其特征在于，

根据所述第1偏振分束器(310)透射的光与反射的光，其光量相互不同。

4.根据权利要求1所述的干涉仪，其特征在于，

所述第1波长板(370)是半波长板，所述第2波长板(340)及第3波长板(350)是1/4波长板。

5.根据权利要求1所述的干涉仪，其特征在于，

所述第2波长板(340)，为了区分所述测量目标物(320)的漫反射面与镜面其旋转光轴。

6.根据权利要求2所述的干涉仪，其特征在于，

所述第1波长板(370)、第4波长板(341)及第5波长板(351)是半波长板。

7.根据权利要求2所述的干涉仪，其特征在于，

所述第4波长板(341)，其为了区分所述测量目标物(320)的漫反射面与镜面可旋转光轴。

8.一种光学装置，其特征在于，包括：

光源(100)；

根据权利要求1或2所述的干涉仪；及

图像拾取设备(400)，拍摄在所述干涉仪射出的光获取干涉图样。

9.根据权利要求8所述的光学装置，其特征在于，

在所述光源(100)与所述干涉仪之间配置第2偏振板(600)。

10.根据权利要求9所述的光学装置，其特征在于，

所述光源(100)与所述第2偏振板(600)之间，配置波宽扩张部(200)。

11.根据权利要求10所述的光学装置，其特征在于，

所述光源(100)是激光，所述激光与所述波宽扩张部(200)形成一体。

12.根据权利要求10或11所述的光学装置，其特征在于，

所述波宽扩张部(200)，其构成包括凹透镜(210)与凸透镜(220)。

13.根据权利要求8所述的光学装置，其特征在于，

所述光源(100)是可调激光，所述图像拾取设备(400)以离散数据(discrete data)测量所述干涉图样。

14.根据权利要求13所述的光学装置，其特征在于，

根据所述干涉仪产生的高度不同的测量目标物之间的光程差1，是根据快速傅立叶变换(FFT)所述离散数据的结果来测量。

15.根据权利要求14所述的光学装置，其特征在于，

所述高度不同的测量目标物之间的光程差1，是根据以下【数学式】求得的(在这里，λ₀是平行光的基准波长，λ_a及λ_b是在快速傅立叶变换从高度分别不同的测量目标物测量的离散数据而分别获取的波长值，但λ_a＞λ_b)。

【数学式】

l=λ02(1λb-1λa)]]>