[发明专利]防反射膜、光学系统、光学设备以及防反射膜的成膜方法

说明书

技术领域

本发明涉及防反射膜、具有该防反射膜的光学系统、具有该光学系统的光学设备以及防反射膜的成膜方法。

背景技术

近年来，在医疗、化学领域中，以下荧光显微镜的用途得以扩大：向细胞等观察对象投放包含荧光蛋白质的试剂，在照射某一定波长的光时，会从试剂激励其他波长的荧光，该荧光显微镜能够通过该荧光进行对象的观察。作为这种荧光显微镜之一，具有多光子吸收显微镜。

多光子吸收显微镜基于获得高输出的目的，使用高次、例如2次的激光作为激励光。这里，用于可见光激励的激光的波长优选为红外光。

这种情况下，多光子吸收显微镜的光学系统需要使观察用的荧光(可见光)和产生荧光的作为激励激光的近红外光透射。因此，需要使从可见光到近红外光透射的防反射膜。这里，作为激励光的激光的波长需要是荧光观察波长的约2倍。在荧光观察中，通过所使用的试剂确定在观察中使用的波长。所使用的可见光的波长大致为500nm左右，因此防反射膜优选使从可见光到近红外(约1000nm)的波长的光透射。

作为通常的防反射膜，已知使可见光(波长范围400nm～680nm)透射的3层结构的设计。此外，在专利文献1中提出了仅使不包含可见光的近红外区域光透射的防反射膜。进而，此外，在需要可见光的情况下要求遮断近红外区域的光，因而专利文献2提出了具有使可见光透射、使近红外区域的光反射的特性的防反射膜。此外，作为使从可见光到近红外区域光透射的防反射膜，在专利文献3中获得了使波长范围400nm～1100nm的光透射的防反射膜。

在先技术文献

专利文献

专利文献1:日本特开2005-275294号公报

专利文献2:日本特开平9-325211号公报

专利文献3:日本特开2005-338366号公报

发明内容

发明要解决的课题

在多光子吸收显微镜中，不仅能进行观察对象的表面的观察，还能进行内部的观察。在使用多光子吸收显微镜进行观察对象的内部观察时，为了观察其深部，将更长波长的激光用于激励光是有效的。此外，如果考虑到大气的光吸收等，则最好能够使用到波长1600nm为止的长波长的激光。即，优选具有波长范围400nm～1600nm的范围的透射频带。因此，在现有的多光子吸收显微镜中，在用于进行观察的物镜上需要波长范围400nm～1600nm的防反射膜。

然而，如上所述，在专利文献1所述的防反射膜中，仅能使可见光和近红外区域中的某一方的光透射。此外，在专利文献3所述的防反射膜中透射频带的宽度不足，在波长1350nm时反射率为7％，在波长1600nm时反射率为16％，成为在透镜和基板以上的反射率，因而未发挥防反射膜的作用。

本发明就是鉴于上述情况而完成的，其目的在于提供一种具有从可见光到红外区域(波长范围400nm～1600nm)的频带的防反射膜。

用于解决课题的手段

为了解决上述课题并达成目的，本发明的防反射膜的特征在于，该防反射膜具有12层的结构，交替层叠有高折射率物质和折射率比高折射率物质低的低折射率物质，在最表层上层叠有折射率比低折射率物质低的超低折射率物质。

本发明的光学系统的特征在于，其通过具有上述防反射膜的1片以上的光学基板构成。

本发明的光学设备的特征在于，其具有上述光学系统。

本发明的防反射膜的成膜方法的特征在于，其具有：第1成膜工序，在基板上交替层叠高折射率物质和折射率比高折射率物质低的低折射率物质；以及第2成膜工序，通过湿式涂布在最表层上层叠折射率比低折射率物质低的超低折射率物质。

发明的效果

本发明的防反射膜能够提供一种具有从可见光到红外区域(波长范围400nm～1600nm)的频带的防反射膜。

此外，通过在最表层上形成利用湿式涂布得到的层、并在其他层上层叠电介质多层膜的结构，能够实现在波长范围400nm～1600nm内为1％以下的反射率的防反射膜。通过使该防反射膜在光学零件上成膜，能够使用更长波长的激光作为激励光，能够在观察对象的内部观察时进行更深部的观察。

附图说明

图1是表示本发明的实施方式的多光子吸收显微镜的概要结构的图。

图2是表示实施例1、实施例2、实施例3和实施例4的防反射膜的层结构的表。

图3是表示实施例1、实施例2、实施例3和实施例4的防反射膜的最大反射率的表。

图4是表示实施例1的防反射膜的反射率特性的曲线图。

图5是表示实施例2的防反射膜的反射率特性的曲线图。