[发明专利]歧管单元及使用歧管单元的定流量型漏泄测试器

说明书

技术领域

本发明涉及在注入定流量空气而进行被试验工件的泄漏检查的定流量型漏泄测试器使用的歧管单元及使用歧管单元的定流量型漏泄测试器。

背景技术

定流量型漏泄测试器在工件舱和标准件舱中分别收纳作为工件的检查对象容器和作为标准件的无泄漏的基准容器，在测试压下向工件侧空气系统和标准件侧空气系统中注入相同的定流量的空气，关闭系统后，观测工件侧空气系统和标准件侧空气系统之间的差压的变化，在规定时间后的差压比预定值大的情况下，将工件判定为次品。作为检查对象的工件，密封容器、密封壳体、护罩零件等各种各样的工件可成为对象。作为这种漏泄测试器，例如图1中表示专利文献1公开的漏泄测试器的例子。

图1的定流量型漏泄测试器构成为能够进行如下两种情况的双向试验，即，将工件8W配置在工件舱6W内，向工件舱6W内注入加压空气并检测向工件8W内的泄漏量的情况、和对工件舱6W内进行减压并检测从工件8W内向工件8W外泄漏的气体的泄漏量的情况。负压源15利用配管11与三通控制阀12的接口A连接，接口B侧的配管分支成工件侧配管3W和标准件侧配管3M，分别经由通常打开(总是打开)的双通控制阀4W、4M与工件舱6W、标准件舱6M连接。正压源16利用配管14与容器40连接。容器40利用配管2W依次经由通常关闭(总是关闭)的双通控制阀5W和临界喷嘴(均称为音速喷嘴或声速喷嘴等)7W与双通控制阀4W和工件舱6W之间的工件侧配管3W连接。另外，容器40利用配管2M依次经由通常关闭的双通控制阀5M和临界喷嘴7M与双通控制阀4M和标准件舱6M之间的标准件侧配管3M连接。工件舱6W和标准件舱6M为具有相同内容积的容器，收纳于标准件舱6M内的标准件8M是成为与检查对象的工件8W相等的容积的无泄漏的基准的工件。检查对象的工件6W不明确是否有泄漏。在双通控制阀4W和工件舱6W之间的工件侧配管3W与双通控制阀4M和标准件舱6M之间的标准件侧配管3M之间连接差压检测器13，基于由差压检测器13检测的差压，利用判定装置10判定工件是否良好。

临界喷嘴7W、7M为在长度方向中间部具有内径缩径的贯通孔的喷嘴，在从其一端注入加压气体且从另一端放出时，若注入侧压力P1和放出侧压力P0(例如大气压)的比P0/P1约为0.528以下(称为临界条件)，则具有在缩径位置的气体的流速成为音速的流量特性，如果注入侧压力P1一定，即使二次侧压力(测试压)发生变化，节流的气体的流速也不会超过音速，利用保持一定的性质，可作为定流量喷嘴使用。

在漏泄测试中，首先在双通控制阀4W、4M打开的状态且控制阀5W、5M关闭的状态下，在使三通控制阀12的接口BC间导通(即，将接口B与大气导通)的状态下，在标准件舱6M中收纳具有与工件8W相同的容积且无泄漏的标准件容器8M，在工件舱6W内收纳泄漏不明的工件8W。在对工件8W赋予负压来检测泄漏的情况下，在将控制阀5W、5M关闭的状态且将双通控制阀4W、4M打开的状态下，使三通控制阀12的接口A和B之间导通，利用负压源15对工件舱6W和标准件舱6M赋予规定的负压。在经过规定时间并稳定后，关闭双通控制阀4W、4M，如果进一步经过规定时间后的差压检测器13的检测差压为0(或规定基准值以下)，则判定工件8W为良品(无泄漏或基准值以下)，如果比0(或基准值)大，则判定为次品(有泄漏)。

在从正压源16供给加压空气而检测空气向工件8W内的泄漏的情况下，在关闭双通控制阀4W、4M且关闭控制阀5W、5M的状态下，利用正压源16向容器40中充满相对于大气压P0满足临界条件的预定的一定压力的空气。容器40为了能够稳定地供给规定压的空气而使用，但如果供给侧的供给流量较大，则也可以不使用，而从配管14分支并直接供给配管2W、2M。使控制阀5W、5M导通后，在经过规定时间后即向工件侧及标准件侧供给规定流量的空气，然后关闭双通控制阀5W、5M，基于由差压检测器13检测的差压判定工件8W中是否有较大泄漏。在没有较大泄漏的情况下，在关闭双通控制阀5W、5M的状态下观测差压变化，若在规定时间内产生差压，则判定为有较少泄漏，如果未产生差压，则判定为无泄漏。