[发明专利]用于微电子和光电子器件及其组件的热氧化稳定的、侧链聚醚官能化的聚降冰片烯有效

专利信息
申请号: 201380005733.8 申请日: 2013-01-15
公开(公告)号: CN104221176B 公开(公告)日: 2017-03-01
发明(设计)人: C·阿帕纽斯;A·贝尔;C·伯恩斯;C·赛勒斯;E·埃尔切;R·格罗夫;S·开蒂;B·纳普;H·额;S·大桥;张伟 申请(专利权)人: 住友电木株式会社
主分类号: H01L51/00 分类号: H01L51/00;C08F232/08;G03F7/004;G03F7/038;G03F7/039
代理公司: 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所11038 代理人: 李英
地址: 日本*** 国省代码: 暂无信息
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摘要:
搜索关键词: 用于 微电子 光电子 器件 及其 组件 氧化 稳定 侧链聚醚 官能 冰片
【权利要求书】:

1.一种微电子或者光电子器件,其包含重新分配层(RDL)结构、芯片堆栈结构、CMOS图像传感器坝结构中的一种或多种,其中,所述结构进一步包含具有衍生自根据式A的降冰片烯型单体的重复单元的热氧化稳定化的聚合物、以及包含酚类抗氧化剂和增效剂的复合添加剂,

其中s选自0至3,t选自2至4,u是1至3中的整数以及R5选自甲基、乙基、正丙基或者异丙基。

2.根据权利要求1所述的微电子或者光电子器件,其中复合抗氧化剂的所述增效剂是二(4-(叔丁基)苯基)胺(Steerer Star)、二(4-(2-苯基丙-2-基)苯基)胺(Naugard445)、二(4-(叔戊基)苯基)胺或者二(4-甲氧基苯基)胺(Thermoflex)中的一种或多种,并且所述酚类抗氧化剂是2,2’-((2-羟基-5-甲基-1,3-亚苯基)二(亚甲基))二(4-甲基酚)(AO-80)、6,6’-亚甲基二(2-(叔丁基)-4-甲基酚)(4-PC)或者3,5-二(1,1-二甲基乙基)-4-羟基苯丙酸(Irganox1076)中的一种或多种。

3.根据权利要求2所述的微电子或者光电子器件,其中复合抗氧化剂的二芳基胺包含二(4-(2-苯基丙-2-基)苯基)胺NG-445),并且受阻酚包含2,2’-((2-羟基-5-甲基-1,3-亚苯基)二(亚甲基))二(4-甲基酚)(AO-80)。

4.根据权利要求1、2或者3中任一项所述的微电子或者光电子器件,其中,根据式A的降冰片烯型单体是三氧杂壬烷降冰片烯(NBTON)或者四氧杂十二烷降冰片烯(NBTODD)、5-(3-甲氧基丙氧基)乙基-2-降冰片烯(NB-3-MBM)或者5-(3-甲氧基丙氧基)甲基-2-降冰片烯(NB-3-MPM)。

5.根据权利要求4所示的微电子或者光电子器件,其中所述热氧化稳定化的聚合物进一步包含重复单元,所述重复单元衍生自一种或多种的选自降冰片烯基-2-三氟甲基-3,3,3-三氟丙-2-醇(HFANB)、降冰片烯甲基缩水甘油基醚(MGENB)、5-癸基双环[2.2.1]庚-2-烯(DecNB)、5-苯乙基双环[2.2.1]庚-2-烯(PENB)、5-苯丁基双环[2.2.1]庚-2-烯(PBNB)、乙基3-(双环[2.2.1]庚-2-烯-2-基)丙酸酯(EPENB)、2-(6-(双环[2.2.1]庚-5-烯-2-基)己基)环氧乙烷(EONB)、双环[2.2.1]庚-5-烯-2-羧酸(Acid NB)以及降冰片烯基丙酸(NBEtCOOH)中的降冰片烯型单体。

6.根据权利要求2所述的微电子或者光电子器件,其中,所述器件包含CMOS图像传感器坝结构。

7.根据权利要求6所述的CMOS图像传感器坝结构,其中,所述热氧化稳定化的聚合物的重复单元衍生自两种或更多种选自NBTON、NBTODD、NB-3-MPM、NB-3-MBM、PENB、PBNB、EONB、DecNB以及MGENB的单体。

8.根据权利要求2所述的微电子或者光电子器件,其中,所述器件包含芯片堆栈结构。

9.根据权利要求8所述的芯片堆栈结构,其中,所述热氧化稳定化的聚合物的重复单元衍生自两种或更多种选自NBTON、NBTODD、NB-3-MPM、NB-3-MBM、HFANB、EPEsNB以及NBCOOTMS的单体。

10.根据权利要求2所述的微电子或者光电子器件,其中,所述器件包含重新分配层(RDL)结构。

11.根据权利要求10所述的重新分配层(RDL)结构,其中,所述热氧化稳定化的聚合物的重复单元衍生自两种或更多种选自NBTON、NBTODD、NB-3-MPM、NB-3-MBM、HFANB、DecNB、EONB、EPEsNB、NBCOOTMS以及MGENB的单体。

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