[发明专利]光扫描型观察装置

权利要求书

1.一种光扫描型观察装置，该光扫描型观察装置具有：

光源，其输出激光；

扫描机构，其在观察对象物上扫描从所述光源输出的所述激光的会聚位置；以及

检测部，其对通过所述激光的扫描而得到的信号光进行取样，将其转换为电信号，其特征在于，

根据所述扫描机构在所述观察对象物上的扫描速度的变化，改变每1次取样的对所述信号光进行检测的取样时间，

通过改变每1次取样的所述激光的照射时间，改变所述取样时间。

2.根据权利要求1所述的光扫描型观察装置，其特征在于，

在所述观察对象物上的扫描范围内，在设t_vmin和t_vmax分别为所述扫描速度为最小值和最大值时的所述取样时间时，满足条件式(1)

t_vmin>t_vmax…(1)。

3.根据权利要求2所述的光扫描型观察装置，其特征在于，

在所述观察对象物上的扫描范围内，在设v_max和v_min分别为所述扫描速度的最大值和最小值时，所述t_vmin和t_vmax满足条件式(2)

0.5≤vmax×tvmaxvmin×tvmin≤2...(2).]]>

4.根据权利要求1所述的光扫描型观察装置，其特征在于，

在所述观察对象物上的扫描范围内，在设v为所述扫描速度、t为所述取样时间、max(v×t)和min(v×t)分别为所述扫描速度与所述取样时间之积的最大值和最小值时，满足条件式(3)

1≤max(v×t)min(v×t)≤2...(3).]]>

5.根据权利要求1所述的光扫描型观察装置，其特征在于，

在所述观察对象物上的扫描范围内，使所述取样时间变化，以使得所述取样时间与所述扫描速度之积成为恒定值。

6.根据权利要求1所述的光扫描型观察装置，其特征在于，

还通过改变每1次取样的所述检测部的检测时间，改变所述所述取样时间。

7.根据权利要求1所述的光扫描型观察装置，其特征在于，

根据所述扫描机构在所述观察对象物上的所述扫描速度的变化，改变从所述光源输出的激光的功率。

8.根据权利要求7所述的光扫描型观察装置，其特征在于，

在所述观察对象物上的扫描范围内，在设p_vmin和p_vmax分别为所述扫描速度为最小值和最大值时的所述激光的功率时，满足条件式(4)

p_vmin<p_vmax…(4)。