[发明专利]用于分散的基板的具有蜂巢式结构的动态负载锁定

权利要求书

1.一种负载锁定腔室，所述负载锁定腔室包含：

一或更多个壁，所述一或更多个壁界定在大气压力下的第一区域与处理压力下的第二区域之间延伸的负载锁定区域；

线性输送机构，所述线性输送机构设置在所述负载锁定区域内并从所述第一区域延伸至所述第二区域；

数个分离机构，所述数个分离机构耦接至所述线性输送机构并经放置以将所述负载锁定区域分成数个分散区域，其中所述线性输送机构经配置以支撑并移送设置在所述数个分散区域内的一或更多个基板；及

一或更多个致动器，所述一或更多个致动器与所述负载锁定区域流体连通并经配置以降低所述数个分散区域的每一者中的所述压力。

2.如权利要求1所述的负载锁定腔室，所述负载锁定腔室进一步包含第一致动器、第二致动器及第三致动器，所述第一致动器经配置以在所述数个分散区域的第一分散区域内提供大于所述第一区域中的所述压力的压力，所述第二致动器经配置以在所述数个分散区域的第二分散区域内提供小于所述第一分散区域中的所述压力并大于所述第二区域中的所述压力的压力，所述第三致动器经配置以在所述数个分散区域的第三分散区域内提供小于所述第二分散区域中的所述压力并大于所述第二区域中的所述压力的压力。

3.如权利要求1所述的负载锁定腔室，其特征在于，每个分离机构包含弹簧负载的叶片。

4.如权利要求3所述的负载锁定腔室，其特征在于，每个分离机构进一步包含弹簧负载的端部件。

5.如权利要求1所述的负载锁定腔室，其特征在于，每个分离机构包含延伸跨越所述线性输送机构的宽度的两个分离部件。

6.如权利要求1所述的负载锁定腔室，其特征在于，每个分离机构包含凹穴，所述凹穴用于在所述凹穴中设置一或更多个基板。

7.一种用于将基板从大气压力移送至处理压力的方法，所述方法包含以下步骤：

将一或更多个基板从大气压力移送至负载锁定腔室内的第一压力区域；

使用线性输送机构将所述一或更多个基板从所述第一压力区域移送至所述负载锁定腔室内的第二压力区域，其中所述第二压力区域具有小于所述第一压力区域中的压力的压力；

使用所述线性输送机构将所述一或更多个基板从所述第二压力区域移送至所述负载锁定腔室内的第三压力区域中，其中所述第三压力区域具有小于所述第二压力区域中的压力的压力；及

使用所述线性输送机构将所述一或更多个基板移送至处理压力区域中，其中所述处理压力区域具有小于所述第三压力区域中的压力的压力。

8.如权利要求7所述的方法，其特征在于，所述第一压力区域具有大于大气压力的压力。

9.如权利要求7所述的方法，所述方法进一步包含以下步骤：使用所述线性输送机构将所述基板从所述第三压力区域移送进入所述负载锁定腔室的第四压力区域，其中所述第四压力区域具有小于所述第三压力区域中的压力并大于所述处理压力区域中的压力的压力。

10.一种基板处理系统，包含：

第一负载锁定腔室，所述第一负载锁定腔室包含第一线性输送机构，所述第一线性输送机构经配置以移送基板穿过所述第一负载锁定腔室并具有流体地耦接至所述第一负载锁定腔室的负载锁定区域内的数个分散区域的数个第一致动器，其中所述数个第一致动器经配置以施加从所述第一负载锁定腔室的大气压力侧至所述第一负载锁定腔室的处理压力侧的气压梯度；

一或更多个处理腔室，所述一或更多个处理腔室耦接至所述第一负载锁定腔室；及

第二负载锁定腔室，所述第二负载锁定腔室耦接至所述一或更多个处理腔室，其中所述第二负载锁定腔室包含第二线性输送机构，所述第二线性输送机构经配置以移送基板穿过所述第二负载锁定腔室并具有流体地耦接至所述第二负载锁定腔室的负载锁定区域内的数个分散区域的数个致动器，其中所述数个第二致动器经配置以施加从所述第二负载锁定腔室的处理压力侧至所述第二负载锁定腔室的大气压力侧的气压梯度。

11.如权利要求10所述的基板处理系统，其特征在于，所述第一线性输送机构与所述第二线性输送机构中的每一者包含连续的输送带部件，所述连续的输送带部件具有附接于所述连续的输送带部件的数个分离机构。

12.如权利要求11所述的基板处理系统，其特征在于，每个分离机构包含弹簧负载的叶片和弹簧负载端部件。