[发明专利]微电子机械系统(MEMS)多轴加速计电极结构

权利要求书

1.一种惯性传感器，包括：

单个质量块，所述单个质量块在器件层的x-y平面中形成，所述单个质量块包括单个中心锚，所述单个中心锚被配置为使所述单个质量块悬吊在通孔晶片上方；

第一电极定子框架和第二电极定子框架，所述第一电极定子框架和所述第二电极定子框架在所述惯性传感器相应的相对的第一侧和第二侧上的所述器件层的所述x-y平面中形成，所述第一电极定子框架和所述第二电极定子框架关于所述单个中心锚对称，并且每个电极定子框架独立地包括：

中心平台；和

锚，所述锚被配置为将所述中心平台固定到所述通孔晶片上；

其中所述第一电极定子框架和所述第二电极定子框架的所述锚沿所述中心平台相对于所述单个中心锚不对称地放置。

2.根据权利要求1所述的惯性传感器，其中所述第一电极定子框架和所述第二电极定子框架包括：

第一电极定子框架内分支和第二电极定子框架内分支；以及

多个静止指状物，所述多个静止指状物耦合到所述第一电极定子框架内分支和所述第二电极定子框架内分支。

3.根据权利要求2所述的惯性传感器，其中所述第一电极定子框架内分支基本上平行于所述第二电极定子框架内分支。

4.根据权利要求3所述的惯性传感器，其中所述第一电极定子框架和所述第二电极定子框架的所述第一电极定子框架内分支和所述第二电极定子框架内分支基本上平行于所述第一电极定子框架和所述第二电极定子框架的所述中心平台。

5.根据权利要求4所述的惯性传感器，其中所述第一电极定子框架和所述第二电极定子框架的所述中心平台关于所述单个中心锚对称。

6.根据权利要求2所述的惯性传感器，包括：

第一质量块框架和第二质量块框架，所述第一质量块框架和所述第二质量块框架在所述器件层的所述x-y平面中形成，每个都耦合到所述单个质量块并包括：

第一质量块框架内分支和第二质量块框架内分支，所述第一质量块框架内分支和所述第二质量块框架内分支位于所述中心平台附近并基本上平行于所述中心平台；

第一质量块框架外分支和第二质量块框架外分支；以及

多个运动指状物，所述多个运动指状物耦合到所述第一质量块框架内分支和所述第二质量块框架内分支及所述第一质量块框架外分支和所述第二质量块框架外分支。

7.根据权利要求6所述的惯性传感器，其中所述第一电极定子框架和所述第二电极定子框架具有第一质量，其中所述第一质量块框架和所述第二质量块框架具有第二质量，并且其中所述第一质量小于所述第二质量。

8.根据权利要求6所述的惯性传感器，其中所述多个静止指状物的至少一部分与所述多个运动指状物的至少一部分相互交叉。

9.根据权利要求6所述的惯性传感器，其中所述静止指状物基本上垂直于所述第一电极定子框架和所述第二电极定子框架的所述第一电极定子框架内分支和所述第二电极定子框架内分支；并且

其中所述运动指状物基本上垂直于所述第一质量块框架和所述第二质量块框架的所述第一质量块框架内分支和所述第二质量块框架内分支及所述第一质量块框架外分支和所述质量块框架第二外分支。

10.根据权利要求1所述的惯性传感器，包括：

单个质量块三轴加速计，所述单个质量块三轴加速计包括所述单个质量块和单独的x、y、z轴挠曲支承部；并且

其中所述x轴挠曲支承部和所述y轴挠曲支承部关于所述单个中心锚对称，并且所述z轴挠曲部关于所述单个中心锚不对称。

11.根据权利要求10所述的惯性传感器，其中所述三轴加速计包括关于所述单个中心锚对称的面内x轴加速计感应电极和y轴加速计感应电极以及面外z轴加速计感应电极；并且

其中所述面内x轴加速计感应电极包括所述第一电极定子框架和所述第二电极定子框架。