[发明专利]图案形成方法、器件和器件制造方法

权利要求书

1.一种图案形成方法，其中，通过喷嘴喷出包含溶剂和金属颗粒的液体材料并将所述液体材料的液滴沉积在图案形成物体上，从而在所述图案形成物体上形成图案，所述图案形成方法的特征在于：

在通过所述喷嘴喷出所述液体材料之前的所述液体材料的粘度比在所述液体材料的液滴沉积在所述图案形成物体上时的所述液体材料的粘度低。

2.根据权利要求1所述的图案形成方法，其特征在于，在所述液体材料的液滴沉积在所述图案形成物体上时的所述液体材料的粘度为25mPa·s或更大。

3.根据权利要求1或2所述的图案形成方法，其特征在于，所述图案形成方法包括：

第一步骤，在通过所述喷嘴喷出所述液体材料之前将所述液体材料保持在第一温度；

第二步骤，将所述图案形成物体保持在比所述第一温度低的第二温度；

第三步骤，将通过所述喷嘴喷出的所述液体材料的液滴沉积在所述图案形成物体上；和

第四步骤，促进包含在所述液体材料中的溶剂的蒸发，其中，所述液体材料沉积在所述图案形成物体上，

其中：

所述第三步骤之前在通过所述喷嘴喷出所述液体材料之前的所述液体材料的粘度比所述第三步骤之后在所述液体材料的液滴沉积在所述图案形成物体上时的所述液体材料的粘度低。

4.根据权利要求3所述的图案形成方法，其特征在于，所述第三步骤之后，在所述液体材料的液滴沉积在所述图案形成物体上时的所述液体材料的粘度为25mPa·s或更大。

5.根据权利要求3或4所述的图案形成方法，其特征在于，通过加热所述液体材料实施所述第四步骤中的对所述溶剂的蒸发的促进。

6.根据权利要求3或4所述的图案形成方法，其特征在于，通过减小所述液体材料周围的大气的压力实施所述第四步骤中的对所述溶剂的蒸发的促进。

7.根据权利要求1至6中任一项所述的图案形成方法，其特征在于，采用喷墨方式或分配器喷出所述液体材料。

8.一种器件，其包括基板和形成在所述基板上的图案，所述器件的特征在于：

在所述基板上的所述图案通过权利要求1至7中任一项所述的图案形成方法形成。

9.一种器件制造方法，其中，通过喷嘴喷出包含溶剂和金属颗粒的液体材料并且将所述液体材料的液滴沉积在基板上，从而在所述基板上形成图案，所述器件制造方法的特征在于：

在通过所述喷嘴喷出所述液体材料之前的所述液体材料的粘度比在所述液体材料的液滴沉积在所述基板上时的所述液体材料的粘度低。

10.根据权利要求9所述的器件制造方法，其特征在于，在所述液体材料的液滴沉积在所述基板上时的所述液体材料的粘度为25mPa·s或更大。

11.根据权利要求9或10所述的器件制造方法，其特征在于，所述器件制造方法包括：

第一步骤，在通过所述喷嘴喷出所述液体材料之前将所述液体材料保持在第一温度；

第二步骤，将所述基板保持在比所述第一温度低的第二温度；

第三步骤，将通过所述喷嘴喷出的所述液体材料的液滴沉积在所述基板上；和

第四步骤，促进包含在所述液体材料中的溶剂的蒸发，其中，所述液体材料沉积在所述基板上，

其中：

所述第三步骤之前在通过所述喷嘴喷出所述液体材料之前的所述液体材料的粘度比所述第三步骤之后在所述液体材料的液滴沉积在所述基板上时的所述液体材料的粘度低。

12.根据权利要求11所述的器件制造方法，其特征在于，所述第三步骤后，在所述液体材料的液滴沉积在所述基板上时的所述液体材料的粘度为25mPa·s或更大。

13.根据权利要求11或12所述的器件制造方法，其特征在于，通过加热所述液体材料实施所述第四步骤中的对所述溶剂的蒸发的促进。

14.根据权利要求11或12所述的器件制造方法，其特征在于，通过减小所述液体材料周围的大气的压力实施所述第四步骤中的对所述溶剂的蒸发的促进。

15.根据权利要求9至14中任一项所述的器件制造方法，其特征在于，采用喷墨方式或分配器喷出所述液体材料。