[发明专利]可光致固化的组合物

权利要求书

1.一种可光致固化的组合物，包含：

a)光致抗蚀剂组分，和

b)硅氧烷-聚醚嵌段共聚物，其中所述硅氧烷嵌段占所述共聚物的≥35重量％，和

c)光引发剂。

2.根据权利要求1所述的可光致固化的组合物，其中所述硅氧烷-聚醚嵌段共聚物为式A^SIL_a-B^PE_b或B^PE_b-A^SIL_a-B^PE_b的线性或悬垂的共聚物，其中A^SIL表示硅氧烷嵌段，B^PE表示聚醚嵌段，a和b为每个嵌段的重量百分比。

3.根据权利要求1所述的可光致固化的组合物，其中所述硅氧烷-聚醚嵌段共聚物的平均分子量M_w为200至15,000。

4.根据权利要求1所述的可光致固化的组合物，包含相对于100重量份的所述光致抗蚀剂组分为0.1至5重量份的所述硅氧烷-聚醚嵌段共聚物。

5.根据权利要求1所述的可光致固化的组合物，其中所述光致抗蚀剂组分为正性光致抗蚀剂。

6.根据权利要求1所述的可光致固化的组合物，其中所述光致抗蚀剂组分为负性光致抗蚀剂。

7.根据权利要求1所述的可光致固化的组合物，其中所述光致抗蚀剂组分为阻焊剂。

8.根据权利要求1所述的可光致固化的组合物，其中所述硅氧烷-聚醚嵌段共聚物具有式：

其中

每个R¹独立地选自烷基和芳基，

每个R²独立地选自烷基、芳基和聚醚嵌段；

x为3至100，

y为0至20，前提条件是至少一个R²基团为聚醚嵌段。

9.根据权利要求8所述的可光致固化的组合物，其中所述R²嵌段为直链或支化的C₂-C₄聚醚基团。

10.根据权利要求1所述的可光致固化的组合物，其中所述硅氧烷-聚醚嵌段共聚物具有式

其中

每个R¹独立地选自烷基和芳基，

每个R³为聚醚嵌段，

x为3至100，

z为1至20。

11.根据权利要求1所述的可光致固化的组合物，其中所述硅氧烷-聚醚嵌段共聚物具有(A^SIL)_a-(B^PE)_b嵌段式

其中

每个R¹独立地选自烷基和芳基，

每个R³为聚醚嵌段，

x为3至100。

12.根据权利要求1所述的可光致固化的组合物，其中所述聚醚嵌段具有式：

IV其中

n为2至4，

w为2至50，

R⁵为H、烷基或芳基，并且

Q为选自以下的二价连接基团：-O-、-NR⁶-、-C_mH_2mO-和-C_mCH_2m(OH)C₂H₄X-，其中R⁶为H、烷基或芳基，并且每个m独立地为1至4，并且X为-O、-S-或-NR⁶。

13.根据权利要求1所述的可光致固化的组合物，还包含基于100重量份的所述光致抗蚀剂组合物计5至40重量份的量的热固性树脂。

14.根据权利要求1所述的可光致固化的组合物，还包含热固性树脂组分。

15.一种多层制品，包含：

a)金属基础基底，

b)光掩膜，

c)设置在所述金属基础基底和所述光掩膜之间的根据权利要求1所述的可光致固化的层。