[发明专利]光学透明电极

说明书

技术领域

本发明涉及一种光学透明电极，特别是涉及一种适用于电阻膜式触摸屏、静电电容式触摸屏的光学透明电极。

背景技术

在个人数字助理(PDA)、笔记本电脑、OA设备、医疗设备或者导航系统等电子设备中，它们的显示器广泛使用触摸屏作为输入手段。

根据位置检测的方法，触摸屏有光学式、超声波式、静电电容式、电阻膜式等。电阻膜式触摸屏具有如下结构：光学透明导电材料和带有光学透明导电层的玻璃隔着间隔件相对设置，电流流过光学透明导电材料，测定带有光学透明导电层的玻璃处的电压。另一方面，静电电容式触摸屏是以光学透明支承体上具有透明导体层作为基本结构，其特征在于没有可移动部件，由于所述静电电容式触摸屏具有高耐用性和高透光率，因而适用于例如车载用途等。

作为触摸屏用途的光学透明电极(光学透明导电材料)，通常是在将由ITO(氧化铟锡)形成的光学透明导电膜形成于光学透明支承体上后加以使用。但是，ITO导电膜的折射率大，光的表面反射大，所以存在全光线透射率降低的问题、因可挠性低而在弯曲时ITO导电膜发生龟裂而电阻值升高的问题。作为代替ITO导电膜的具有光学透明导电膜的光学透明导电材料是在支承体上将金属细线形成为如网纹图案状，通过调节金属细线的线宽、间距进而调节图案形状等来维持高的光线透射率而具有高导电性的光学透明导电材料，所述光学透明导电材料例如被专利文献1公开。

作为形成精细的金属图案的方法，是在基板上形成薄催化剂层，在其上形成抗蚀剂图案之后，利用镀敷法在抗蚀剂开口部层叠金属层，最后除去抗蚀剂层和被抗蚀剂层保护的基底金属，由此形成金属图案的半添加方法，所述半添加方法例如被专利文献2、专利文献3等公开。

另外，近年来，作为形成金属图案的方法，也提出了使用银盐照相感光材料作为导电性材料前体的方法。例如，在专利文献4、专利文献5和专利文献6等中，公开有对在光学透明支承体上至少依次具有物理显影核层和卤化银乳剂层的导电性材料前体，使可溶性银盐形成剂和还原剂在碱液中发挥作用，使金属银图案形成的技术。基于该方式形成的图案可以再现均匀的线宽，除此之外，由于银在金属中导电性最高，与其他方式相比，可以通过更细的线宽得到高导电性，因此可得到全光线透射率高且阻抗低的光学透明导电膜。另外，进而通过该方法得到的光学透明导电膜具有可挠性比ITO导电膜高、对于弯曲耐受性强的优点。

在电阻膜式触摸屏、静电电容式触摸屏的光学透明电极中，具有：置于显示器上并用手操作的光学透明电极部；以及配置在显示器外并将由光学透明电极部检测出的电信号输出到外部的周边电极部。在光学透明电极部使用ITO导电膜的情况下，一般需要从ITO导电膜上使用银膏等制作周边电极部等不同于制作ITO导电膜的其他工序，制造效率变得不太好。另一方面，关于使用前述的银盐照相感光材料作为导电性材料前体的方法，例如，如专利文献7所述，是所谓可以同时制作由银图案形成的网状的光学透明电极部和周边电极部两者、且非常有效率的良好方式。

但是，尽管称为银的金属是贵金属，却容易与空气中的硫发生反应，生成硫化银等，绝不能说是稳定性高的金属，在前述的使用银盐照相感光材料作为导电性材料前体的方法中，关于银的稳定性是存在问题的。进而，在使用银制作电极图案的情况下，会有对应于图案形状而其稳定性发生改变的难以理解的现象，尽管几乎所有图案都未完全腐蚀，但存在所谓仅有某部分、特别仅有与较长的周边布线部电连接的网状光学透明电极部对腐蚀的耐受力非常弱的问题。另外，在使用银盐照相感光材料作为导电性材料前体的方法中，进而为了提高导电性，也使用对制作的由银图案形成的网状的光学透明电极部进行其他金属的非电解镀敷的方法等。然而，虽然其理由尚不明确，但存在根据图案形状产生不同于非电解镀敷或完全不具有非电解镀敷的部分等问题。

另一方面，专利文献8中提出对周边布线的粗细进行改变，但周边布线是钼/铌等金属，光学透明电极部是ITO导电膜。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开平10-41682号公报

专利文献2：日本特开2007-287994号公报

专利文献3：日本特开2007-287953号公报

专利文献4：日本特开2003-77350号公报

专利文献5：日本特开2005-250169号公报

专利文献6：日本特开2007-188655号公报

专利文献7：日本特开2012-4042号公报

专利文献8：日本特表2011-523143号公报