[发明专利]离子束照射装置

权利要求书

1.一种离子束照射装置，具备：真空槽，其收容对基板进行保持的输送托盘；输送部，其在所述真空槽内向输送方向输送所述输送托盘；离子束照射部，其向所述真空槽内的预定的照射位置照射离子束；以及位置检测部，其检测所述输送托盘的位置，其特征在于，

所述位置检测部通过所述输送托盘的输送而在预定的拍摄位置对表示所述输送托盘上的部位的、沿所述输送方向排列且彼此不同的多个指标分别进行拍摄，基于所拍摄到的所述指标来检测出所述输送托盘相对于所述摄像位置的位置。

2.根据权利要求1所述的离子束照射装置，其中，

所述离子束照射部具备：

输出检测部，其检测离子束的输出；

取得部，其以预定的周期取得所述位置检测部的检测结果和所述输出检测部的检测结果；以及

存储部，其将所述位置检测部的检测结果和所述输出检测部的检测结果以彼此关联的方式存储，所述位置检测的检测结果和所述输出检测部的检测结果是所述取得部取得的检测结果。

3.根据权利要求2所述的离子束照射装置，其中，

所述输出检测部检测离子束的输出停止。

4.根据权利要求3所述的离子束照射装置，其中，

所述输送部在输送处理的开始位置和该输送处理的结束位置之间输送所述输送托盘，

所述输送部具备控制部，该控制部控制所述输送部的输送，

所述存储部将所述位置检测部的检测结果中的、与所述输出停止进行关联的检测结果作为停止位置而存储，

在所述输出检测部检测出输出停止时，

所述控制部以使所述输送托盘在所述开始位置和所述结束位置之间进行往返的方式驱动所述输送部，

所述离子束照射部基于所述停止位置和所述位置检测部的检测结果，而向所述基板上的离子束未照射部位输出离子束。

5.根据权利要求4所述的离子束照射装置，其中，

在所述输出检测部检测出输出停止时，

所述控制部向所述输送方向输送所述输送托盘直到所述输送托盘相对于所述拍摄位置的位置处于离子束没有照射到所述基板上的非照射位置后，从所述非照射位置向所述输送方向的反方向输送所述输送托盘，

所述离子束照射部在所述输送托盘相对于所述拍摄位置的位置到达所述非照射位置时再次开始离子束的照射，并在所述输送托盘相对于所述拍摄位置的位置到达所述停止位置时停止所述离子束的照射。

6.根据权利要求1-5中任意一项所述的离子束照射装置，其中，

所述多个指标分别为条形码，并且其在所述输送托盘的输送方向上从所述输送托盘的一端排列到另一端。

7.根据权利要求1-6中任意一项所述的离子束照射装置，其中，

所述离子束照射部具备输出离子束的离子源，

所述位置检测部相对于所述输送托盘被配置在所述离子源的相反侧上。

8.根据权利要求7所述的离子束照射装置，其中，

所述位置检测部被配置在与所述离子源的照射位置不对置的位置上。

9.根据权利要求1-8中任意一项所述的离子束照射装置，其中，

所述离子束照射部的照射位置由在与所述输送方向交叉的交叉方向上被划分且彼此接触的第1照射位置和第2照射位置组成，

所述离子束照射部具备：第1离子源，其向所述第1照射位置照射离子束；以及第2离子源，其向所述第2照射位置照射离子束。

10.根据权利要求9所述的离子束照射装置，其中，

所述多个指标分别为条形码，

所述输送托盘具有2个条形码群，该条形码群由多个所述条形码构成，

所述2个所述条形码群在所述交叉方向上以夹着所述第1照射位置和第2照射位置的方式配置，并且由所述第1照射位置侧的第1条形码群和所述第2照射位置侧的第2条形编码群构成，

所述位置检测部由第1位置检测部和第2位置检测部构成，所述第1位置检测部被配置在与所述第1条形码群彼此对置的位置上并拍摄所述第1条形码群，所述第2位置检测部被配置在与所述第2条形码群彼此对置的位置上并拍摄所述第2条形码群，

在所述第1离子源输出时，所述离子照射部取得第2位置检测部的检测结果，

在所述第2离子源输出时，所述离子照射部取得第1位置检测部的检测结果。