[发明专利]在线可调式磁棒

权利要求书

1.一种用于可旋转地承载溅射靶管(200)且用于约束所述溅射靶管内的磁棒的终端模块(100)，所述终端模块包括用于接收磁棒接头(150)的插孔，其中所述插孔包括信号连接器的第一部分(162)，所述信号连接器的第一部分设置用于从所述磁棒接头(150)接收信号连接器的第二部分(164)并允许在终端模块(100)和磁棒(220)之间形成信号连接，所述终端模块包括用于引导冷却流体的冷却液体通道，所述信号连接器的第一部分(162)设置在所述冷却液体通道中，所述终端模块(100)适用于为信号连接器提供保护装置，以用于保护信号连接器避免由于周围的冷却流体和/或由于周围的高能量场而退化、损坏或者受到在终端模块(100)和磁棒(220)之间传输的功率信号和/或数据信号的干扰。

2.根据权利要求1所述的终端模块(100)，其中所述信号连接器的第一部分(162)适用于传输电功率和/或数据信号。

3.根据权利要求1或2所述的终端模块(100)，其中所述保护装置包括所述信号连接器的第一部分(162)，所述信号连接器的第一部分至少在其外表面包括导电且无腐蚀性的材料或者由导电且无腐蚀性的材料构成。

4.根据权利要求1或2所述的终端模块(100)，其中所述保护装置包括一旦所述第一部分(162)接收所述第二部分(164)就围绕所述信号连接器形成的封装。

5.根据权利要求4所述的终端模块(100)，其中形成的所述封装生成法拉第笼。

6.根据权利要求4所述的终端模块(100)，其中形成的所述封装由具有高磁导率的材料制成。

7.根据权利要求1或2所述的终端模块(100)，其中所述保护装置包括牺牲且可更换的阳极，所述牺牲且可更换的阳极能够在信号连接器上出现任何的电化学侵蚀之前通过电腐蚀进行消耗。

8.根据权利要求1或2所述的终端模块(100)，其中所述第一部分(162)部分地或完全地浸没在冷却流体中。

9.根据权利要求1或2所述的终端模块(100)，其中所述保护装置适用于保护信号连接器避免由于周围的冷却流体承受具有的功率在0.5kW到250kW之间的信号而退化、损坏或者受到功率信号和/或数据信号的干扰。

10.根据权利要求1或2所述的终端模块(100)，其中所述保护装置适用于保护信号连接器避免由于周围的冷却流体承受具有在0kHz到350kHz范围内的频率的信号而退化、损坏或者受到功率信号和/或数据信号的干扰。

11.根据权利要求10所述的终端模块(100)，其中所述保护装置适用于保护信号连接器避免由于周围的冷却流体承受脉冲信号而退化、损坏或者受到功率信号和/或数据信号的干扰。

12.一种用于引入溅射装置的柱状靶管(200)中的磁棒(220)，所述磁棒(220)包括用于装配至终端模块插孔的磁棒接头(150)和用于引导冷却流体的冷却液体通道，其中所述磁棒接头(150)包括信号连接器的第二部分(164)，所述信号连接器的第二部分设置在所述冷却液体通道内，以使得在将磁棒(220)装配至终端模块(100)时，形成用于在终端模块(100)和磁棒(220)之间传输信号的信号连接器，所述磁棒(220)适用于为信号连接器提供保护装置，以用于保护信号连接器避免由于周围的冷却流体和/或由于周围的高能量场而退化、损坏或者受到在磁棒(220)和终端模块(100)之间传输的功率信号和/或数据信号的干扰。

13.根据权利要求12所述的磁棒(220)，其中所述信号连接器的第二部分(164)适用于传输电功率和/或数据信号。

14.根据权利要求12或13所述的磁棒(220)，其中所述保护装置包括所述信号连接器的第二部分(164)，所述信号连接器的第二部分至少在其外表面包括导电且无腐蚀性的材料或者由导电且无腐蚀性的材料构成。

15.根据权利要求12或13所述的磁棒(220)，其中所述保护装置包括一旦所述第二部分(164)被装配到第一部分(162)中就围绕所述信号连接器形成的封装。

16.根据权利要求15所述的磁棒(220)，其中形成的所述封装生成法拉第笼。