[发明专利]研磨材料再生方法有效

专利信息
申请号: 201380009222.3 申请日: 2013-02-14
公开(公告)号: CN104203497B 公开(公告)日: 2016-11-16
发明(设计)人: 永井佑树;前泽明弘;高桥笃 申请(专利权)人: 柯尼卡美能达株式会社
主分类号: B24B57/02 分类号: B24B57/02;B01F17/52;C02F11/14
代理公司: 北京市柳沈律师事务所 11105 代理人: 张涛
地址: 日本*** 国省代码: 日本;JP
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摘要:
搜索关键词: 研磨 材料 再生 方法
【权利要求书】:

1.一种研磨材料再生方法,其从使用过的研磨材料浆料中再生该研磨材料浆料所含的研磨材料,所述研磨材料再生方法中,

该研磨材料是选自下述研磨材料组中的至少一种研磨材料,且经由下述工序A~C再生该研磨材料,

工序A:回收从研磨机排出的研磨材料浆料的浆料回收工序A,

工序B:向该回收得到的研磨材料浆料中添加作为无机盐的碱土金属盐使研磨材料凝聚,并将该研磨材料从母液分离并浓缩的分离浓缩工序B,

工序C:回收该分离浓缩得到的研磨材料的研磨材料回收工序C,

研磨材料组:金刚石、氮化硼、碳化硅、氧化铝、氧化铝-氧化锆及氧化锆。

2.如权利要求1所述的研磨材料再生方法,其中,在所述研磨材料回收工序C之后,还包括粒径控制工序D(工序D):对回收得到的所述研磨材料的粒径进行调整。

3.如权利要求1或2所述的研磨材料再生方法,其中,所述分离浓缩工序B中,在母液换算成25℃的pH值小于10.0的条件下进行分离浓缩。

4.如权利要求1~3中任一项所述的研磨材料再生方法,其中,所述浆料回收工序A中,回收含有清洗水的研磨材料浆料1和使用过的研磨材料浆料2。

5.如权利要求4所述的研磨材料再生方法,其中,将所述浆料回收工序A中回收的研磨材料浆料1和研磨材料浆料2混合,然后,在所述分离浓缩工序B及回收工序C中进行处理。

6.如权利要求4所述的研磨材料再生方法,其中,将所述浆料回收工序A中回收的研磨材料浆料1和研磨材料浆料2分别独立地在所述分离浓缩工序B及回收工序C中进行处理。

7.如权利要求1~6中任一项所述的研磨材料再生方法,其中,在所述分离浓缩工序B中使用的碱土金属盐为镁盐。

8.如权利要求1~7中任一项所述的研磨材料再生方法,其中,所述研磨材料回收工序C中回收研磨材料的方法为采用自然沉降进行的倾析分离法。

9.如权利要求2所述的研磨材料再生方法,其中,所述粒径控制工序D中,向回收得到的研磨材料溶液中添加分散剂后,使用超声波分散机或珠磨型分散机进行分散,由此,控制再生研磨材料的粒径。

10.如权利要求9所述的研磨材料再生方法,其中,所述粒径控制工序D中使用的分散机为超声波分散机。

11.如权利要求9或10所述的研磨材料再生方法,其中,所述分散剂为聚羧酸类高分子分散剂。

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