[发明专利]微型流路装置及其制造装置

说明书

技术领域

本发明涉及在主体部形成有输入通路、输出通路及处理槽且在处理槽收纳有处理体的微型流路装置，尤其是涉及能够使处理体与主体部密接的微型流路装置及其制造装置。

背景技术

作为使少量的流体混合、反应或分离的装置，使用微型流路装置。

专利文献1所记载的微型反应器在框体的内部设有催化剂反应部。催化剂反应部由对催化剂活性物质的粉末进行成形而得到的成形体构成，在成形体上形成有多个连续细孔。当从流入口供给反应性物质时，该反应性物质分支地向多个连续细孔流入，而与催化剂活性物质发生反应。或者，所述催化剂反应部由保持有催化剂活性物质的多孔基体构成，从流入口供给的反应性物质被导向基体的内部，与催化剂活性物质发生反应。

专利文献2所记载的化学微型器件在基板上形成有多个流路和反应部，在所述反应部保持有0.001～0.3μm的孔径的膜过滤器。该发明将捕集溶液向反应部输送，并在反应部使捕集溶液捕集NO₂气体。

在先技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2006-175361号公报

专利文献2：日本特开2004-97978号公报

发明内容

发明要解决的课题

专利文献1所记载的微型反应器未考虑具有连续细孔的成形体与框体的交界部、或者多孔基体与框体的交界部的气密性或液密性，在想要使气体或液体混合或反应时，存在气体或液体容易向所述交界部渗出而导致针对流体的混合或反应的精度降低这样的课题。

专利文献2所记载的化学微型器件也未考虑基板与膜过滤器的交界部的气密性或液密性，这种情况下，在想要使流体混合或反应时，流体也容易向所述交界部渗出。

本发明为了解决上述现有技术的课题而提出，其目的在于提供一种在使用多孔体使气体或液体混合或发生化学反应时、不易引起流体向多孔体与主体部之间渗出的现象而能有效地进行混合或反应的微型流路装置及其制造装置。

用于解决课题的方案

本发明涉及一种微型流路装置，其设有：板状的主体部，其在内部形成有处理槽、到达所述处理槽的输入通路、从所述处理槽延伸的输出通路；处理体，其配置在所述处理槽的内部，所述微型流路装置的特征在于，

所述处理体具有多孔体和将所述多孔体包围的合成树脂制的被覆层，所述被覆层与所述处理槽的内表面密接，在所述被覆层上形成有将所述输入通路与所述多孔体连通的渗入口、将所述多孔体与所述输出通路连通的渗出口。

本发明的微型流路装置的处理体构成为，多孔体由合成树脂层包围，该合成树脂层与主体部的内表面密接。因此，能够提高多孔体与主体部的内表面的气密性和液密性，液体或气体在所述交界部不易渗出，能够提高可将流体在多孔体的内部进行处理的概率。

本发明优选的是，所述被覆层由与所述主体部相同的合成树脂材料形成。在该结构中，容易使被覆层与主体部密接。

本发明优选的是，所述多孔体是整体结构的烧结陶瓷的多孔体。结晶陶瓷的多孔体在提高加工精度这方面存在界限，但是通过用合成树脂制的被覆层将该多孔体的周围覆盖，由此利用被覆层使多孔体与主体部的交界部密接，从而能在多孔体的内部进行流体的处理。而且，能够进行有效利用了多孔体的结构的高精度的流体处理。

本发明中，例如所述多孔体是多孔二氧化硅。

本发明可以是，所述多孔体为板状，且在板表面形成有所述渗入口，在板的侧面形成有所述渗出口。或者可以是，所述多孔体为长条形状，且在朝向长度方向的一方的端面形成有所述渗入口，在另一方的端面形成有所述渗出口。

本发明中，所述主体部由多个合成树脂制的板构成，在所述板上形成有构成所述处理槽、所述输入通路和所述输出通路的孔或凹部，

多个板的接合表面彼此在不使用粘接剂的情况下密接接合，并且所述被覆层与板在不使用粘接剂的情况下密接接合。

通过使板彼此、以及被覆层与板在不使用粘接剂的情况下密接接合，由此能够防止供给的流体受到粘接剂的影响。

本发明的微型流路装置的制造方法的特征在于，包括：

在构成主体部的多个合成树脂制的主体板上形成构成处理槽、到达所述处理槽的输入通路及从所述处理槽延伸的输出通路的孔或凹部的工序；

向主体板的接合表面赋予光能而对接合表面进行改性的工序；

将多孔体由合成树脂制的被覆层覆盖且形成有与所述多孔体相通的渗入口和渗出口的处理体设置在所述处理槽的内部的工序，