[发明专利]磁盘用玻璃基板的制造方法

说明书

技术领域

本发明涉及磁盘用玻璃基板的制造方法。

背景技术

如今，在个人计算机或DVD(Digital Versatile Disc，数字通用光盘)记录装置等中内置有用于记录数据的硬盘装置(HDD：Hard Disk Drive，硬盘驱动器)。特别是在笔记本型个人计算机等以移动性为前提的设备中使用的硬盘装置中，使用在玻璃基板上设置有磁性层的磁盘，利用略微悬浮在磁盘的面上的磁头对磁性层记录或读取磁记录信息。作为该磁盘的基板，由于具有比金属基板(铝基板)等更难以发生塑性变形的性质，因而优选使用玻璃基板。

另外，应增大硬盘装置中存储容量的要求，寻求磁记录的高密度化。例如使用垂直磁记录方式，使磁性层中的磁化方向相对于基板的面为垂直方向，进行磁记录信息区域(记录位(bit))的微细化。由此，可以增大1张盘片基板中的存储容量。进一步，为了进一步增大存储容量，还进行通过使磁头的记录再现元件部更加突出，从而极度缩短其与磁记录层之间的距离，进一步提高信息的记录再现精度(提高S/N比)。需要说明的是，这种磁头的记录再现元件部的控制被称作DFH(Dynamic Flying Height，动态飞行高度)控制机构，配备该控制机构的磁头被称作DFH头。对于与这种DFH头组合用于HDD的磁盘用基板而言，为了避免其与磁头或从磁头上进一步突出的记录再现元件部之间的碰撞和接触，按照使基板的表面凹凸极小的方式进行制作。

制作磁盘用玻璃基板的工序包括：磨削工序，利用固定磨粒对模压成型后制成平板状的板状玻璃坯料的主表面进行磨削；主表面的研磨工序，目的在于除去因该磨削工序而在主表面残留的伤痕、变形。

以往，已知一种方法，该方法在磁盘用玻璃基板的主表面的研磨工序中使用氧化铈(二氧化铈)、二氧化硅、二氧化锆(氧化锆)等各种磨粒作为研磨剂。例如，专利文献1中公开了一种方法，该方法使用在氧化锆磨粒中添加了铝酸钙、硫酸镁、氯化镁等的研磨液对磁盘用玻璃基板进行研磨。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本专利第2783329号

发明内容

发明要解决的课题

但是，在以氧化锆作为玻璃坯板的游离磨粒的研磨材料而制作的玻璃基板上成膜出磁性层从而制作磁盘，利用滑行头(Glide head)进行了滑行检查，结果与使用现有的氧化铈作为研磨材料而制作的玻璃基板相比，确认到了成品率的降低(即不良产生率的上升)。滑行检查用于判断磁头是否能够以相对于磁盘的特定悬浮量稳定地维持动作。滑行检查通过下述方式进行：使安设有压电元件等的滑行头在磁盘的主表面上以特定的悬浮量飞行，利用压电元件等检测滑行头与磁盘主表面上的异物等突起物有无碰撞，从而进行滑行检查。

因此，本发明的目的在于提供磁盘用玻璃基板的制造方法，在使用氧化锆磨粒作为游离磨粒的研磨材料进行研磨来制造磁盘用玻璃基板时，可以制造异物不易残留在玻璃基板上的磁盘用玻璃基板。

用于解决问题的方法

本发明人为了探明基于上述滑行检查的成品率的降低原因，进行了深入研究。其结果发现，对于玻璃基板的主表面，在镜面抛光的研磨后，即使充分清洗主表面来去除颗粒等，但在进行磁性层的成膜时，有时在主表面仍附着有氧化锆颗粒。此时，在氧化锆颗粒的上方层积磁性层而导致在磁盘的表面形成微小凸部。因而，该微小凸部成为磁头划碰故障、热粗糙故障等不良情况的原因。进一步还可知，在玻璃基板的主表面附着的氧化锆颗粒是研磨中使用的氧化锆磨粒或其一部分，来自附着于玻璃基板的外周面和内周面的侧壁面上的磨粒。需要说明的是，尚未建立有效除去附着于玻璃基板的氧化锆颗粒的清洗方法。