[发明专利]臭氧产生机构以及臭氧产生方法

说明书

技术领域

本发明涉及利用放电产生臭氧的臭氧产生机构以及臭氧产生方法。

背景技术

一般已知在将空气、氧中添加了氮的气体用于原料并利用放电来产生臭氧(O₃)的臭氧产生机构中，随着臭氧的生成，副产氮氧化物(NO_X)。另外，由于副产的氮氧化物与臭氧共存，所以，基本上以五氧化二氮(N₂O₅)这样的构造存在。N₂O₅的物性是在30℃以下的常温下为固体，在通常的运转条件下，存在作为放电生成物附着在臭氧产生装置内的大体全部区域的可能性。

另一方面，厂家推荐在一般的臭氧产生机构中，3年到5年进行一次定期检修，此时，使机构全部停止，进而，实施将臭氧产生装置向大气开放，并将电极取出进行洁净化的维护作业。若在固体的N₂O₅附着的状态下将臭氧产生装置向大气开放，则担心金属部件因N₂O₅与大气中的水分反应而生成的硝酸(HNO₃)被腐蚀。因此，附着物积累在臭氧产生装置内，发生臭氧生成效率下降、在成为臭氧生成空间的管内堵塞，难以维持稳定的动作状态。

因此，提出了通过在使用热水装置加热维持臭氧产生装置容器后进行大气开放，来将附着在臭氧产生装置内部的N₂O₅气体化并除去的臭氧产生装置的应对方法(例如，参见专利文献1。)、具有使用惰性气体、洗涤液清洗臭氧产生装置内的构件的臭氧产生器(例如，参见专利文献2。)。

在先技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2002－265204号公报(第0025～0035段、图1～图3)

专利文献2：日本特开2001－180916号公报(第0034、0050～0051段、图1～图3)

发明内容

发明要解决的课题

然而，在上述的加热维持臭氧产生装置的方法中，为了加热，需要额外的能量，且需要停止臭氧产生装置的运转。另外，在进行清洗的情况下，也需要中断臭氧的生成，每当此时就需要停止使用生成的臭氧进行处理的机器。

本发明是为解决上述那样的课题做出的发明，其目的是得到一种不中断臭氧的生成而维持稳定的动作状态且可靠性高的臭氧产生机构。

用于解决课题的手段

本发明的臭氧产生机构的特征在于，具备：臭氧产生装置，其具有被相向配置并形成放电空间的放电电极；气体供给装置，其向前述放电空间供给作为用于产生臭氧的原料气体的含有氧的气体；电源装置，其向前述放电电极供给用于放电的功率；温度调节装置，其调节前述放电电极的温度；控制部，其控制前述气体供给装置、前述电源装置和前述温度调节装置，并控制前述臭氧产生装置的运转；和检测部，其检测前述臭氧产生装置中的臭氧产生参数，前述控制部根据从前述检测部输出的臭氧产生参数的值，控制前述臭氧产生装置的运转，以便从通常的运转模式向洁净化运转模式转换，在所述洁净化运转模式中，联合控制前述温度调节装置和前述气体供给装置或者前述温度调节装置和前述电源装置，使前述放电电极的温度上升到五氧化二氮气化的温度，在使臭氧在前述放电空间的产生继续的状态下，将前述放电电极表面以及前述放电空间洁净化。

另外，本发明的臭氧产生方法是向具有相向配置并形成放电空间的放电电极的臭氧产生装置供给含有氧的气体，利用前述放电空间中的放电产生臭氧的臭氧产生方法，其特征在于，检测前述臭氧产生装置中的臭氧产生参数，联合控制冷却前述放电电极的冷却水的温度和前述气体的压力或者冷却前述放电电极的冷却水的温度和向前述放电电极的投入功率，根据前述臭氧产生参数的值，使前述放电电极的温度上升到五氧化二氮气化的温度，在臭氧在前述放电空间中的产生继续的状态下，将前述放电电极表面以及前述放电空间洁净化。

发明效果

根据本发明的臭氧产生机构或臭氧产生方法，因为当在臭氧产生中检测到异常时，使电极的温度上升，以便使五氧化二氮的饱和蒸气压比气体压力高，所以，能够得到使五氧化二氮气化，不中断臭氧产生而维持稳定的动作状态且可靠性高的臭氧产生机构或进行臭氧的产生。

附图说明

图1是表示本发明的实施方式1的臭氧产生机构的结构的系统图。

图2是表示设置在作为本发明的实施方式1的臭氧产生机构的构成要素的臭氧产生装置上的放电电极部的构造的剖视图。