[发明专利]信息记录介质用玻璃基板的制造方法和信息记录介质有效
申请号: | 201380011847.3 | 申请日: | 2013-03-06 |
公开(公告)号: | CN104170013B | 公开(公告)日: | 2018-02-27 |
发明(设计)人: | 小松隆史 | 申请(专利权)人: | HOYA株式会社 |
主分类号: | G11B5/84 | 分类号: | G11B5/84;B24B37/08;B24B37/28;C03C19/00 |
代理公司: | 北京三友知识产权代理有限公司11127 | 代理人: | 李辉,黄纶伟 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 信息 记录 介质 玻璃 制造 方法 | ||
1.一种信息记录介质用玻璃基板的制造方法,所述信息记录介质在圆盘形状的玻璃基板的主表面上形成有磁薄膜层,在所述信息记录介质用玻璃基板的制造方法中,
具有表面磨削工序,在该表面磨削工序中,利用具备行星齿轮机构的双面磨削装置,一边供给水、磨削液或润滑液一边磨削所述玻璃基板的主表面,
所述双面磨削装置具备:
上平台,其位于所述玻璃基板的上侧,且在该上平台的所述玻璃基板侧具有上侧磨削垫;
下平台,其位于所述玻璃基板的下侧,且在该下平台的所述玻璃基板侧具有下侧磨削垫;以及
圆盘状的载具,其设有多个保持所述玻璃基板的贯穿保持孔,所述载具被所述上侧磨削垫和所述下侧磨削垫夹着,并且通过所述行星齿轮机构进行规定的旋转运动,
所述贯穿保持孔具有:被配置在所述载具的中心位置附近的唯一的一个第1贯穿保持孔;和围绕所述第1贯穿保持孔呈环状地配置的多个第2贯穿保持孔,
在将所述玻璃基板的直径设为Dmm、并将从所述载具的中心位置至所述第1贯穿保持孔的中心位置的距离设为rmm的情况下,所述第1贯穿保持孔的中心位置被设置在满足[(D/4)≤r≤(D/2)]的关系式的位置处,
在所述载具的、比围绕所述第1贯穿保持孔呈环状地配置的所述第2贯穿保持孔靠所述载具的半径方向内侧的位置处,还具有直径比所述贯穿保持孔小的辅助贯穿孔。
2.一种磨削用载具,所述磨削用载具在信息记录介质用基板的制造方法中使用,所述信息记录介质在圆盘形状的基板的主表面上形成有磁薄膜层,其中,
所述磨削用载具设有多个保持所述基板的贯穿保持孔,
所述贯穿保持孔具有:被配置在所述磨削用载具的中心位置附近唯一的一个第1贯穿保持孔;和围绕所述第1贯穿保持孔呈环状地配置的多个第2贯穿保持孔,
在将所述基板的直径设为Dmm、并将从所述磨削用载具的中心位置至所述第1贯穿保持孔的中心位置的距离设为rmm的情况下,所述第1贯穿保持孔的中心位置被设置在满足[(D/4)≤r≤(D/2)]的关系式的位置处,
在所述磨削用载具的、比围绕所述第1贯穿保持孔呈环状地配置的所述第2贯穿保持孔靠所述磨削用载具的半径方向内侧的位置处,还具有直径比所述贯穿保持孔小的辅助贯穿孔。
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