[发明专利]加工工作台用工装件、加工工作台用工装件的制造方法及激光加工方法

权利要求书

1.一种加工工作台用工装件，其特征在于，

该加工工作台用工装件通过在激光开孔加工时载置在加工工作台上，并且，在上表面侧载置被加工物，从而配置在所述被加工物的底表面侧，

该加工工作台用工装件具有层叠部，该层叠部具有反射层，该反射层使照射至所述被加工物的激光束反射，

该层叠部是所述反射层以每层反射层可剥离的方式通过粘接层层叠为板状而形成的。

2.根据权利要求1所述的加工工作台用工装件，其特征在于，

所述反射层是铜箔层。

3.根据权利要求2所述的加工工作台用工装件，其特征在于，

在所述层叠部的下层侧配置有比所述铜箔层厚的铜板。

4.根据权利要求2所述的加工工作台用工装件，其特征在于，

在所述层叠部的下层侧配置有RCC或FR－4。

5.根据权利要求1所述的加工工作台用工装件，其特征在于，

所述反射层是RCC或FR－4。

6.根据权利要求1至5中任一项所述的加工工作台用工装件，其特征在于，

在所述层叠部中，设置有在真空吸附所述被加工物时使用的第1孔，

所述第1孔的配置位置，与在所述加工工作台上设置并在真空吸附所述被加工物及所述层叠部时使用的第2孔的配置位置相同，或是隔着一部分的孔的位置。

7.一种加工工作台用工装件的制造方法，其特征在于，

该加工工作台用工装件的制造方法包含层叠步骤，在该步骤中，将对照射至被加工物的激光束进行反射的反射层以每层反射层可剥离的方式通过粘接层而层叠为板状。

8.根据权利要求7所述的加工工作台用工装件的制造方法，其特征在于，

所述层叠步骤具有：

将所述反射层及粘接层堆叠的堆叠步骤；以及

将堆叠后的所述反射层及粘接层在堆叠方向上加压的加压步骤。

9.根据权利要求7或8所述的加工工作台用工装件的制造方法，其特征在于，

还具有开孔步骤，在该步骤中，对所述反射层进行开孔，其开孔位置，与在激光开孔加工时载置的加工工作台上设置并在真空吸附所述被加工物及所述反射层时使用的孔的配置位置相同，或是隔着一部分孔的位置。

10.一种激光加工方法，其特征在于，包含：

第1载置步骤，在该步骤中，将加工工作台用工装件载置在加工工作台上，该加工工作台用工装件是将反射层以每层反射层可剥离的方式通过粘接层层叠为板状而形成的，该反射层对照射至被加工物的激光束进行反射；

第2载置步骤，在该步骤中，在所述加工工作台用工装件的上表面侧载置被加工物；

激光加工步骤，在该步骤中，向所述被加工物照射激光束而对所述被加工物进行开孔加工；以及

剥离步骤，在该步骤中，在所述加工工作台用工装件损伤的情况或在所述加工工作台用工装件上堆积有加工屑的情况下，将所述加工工作台用工装件的最上层即反射层及粘接层剥离。