[发明专利]液体喷出头的制造方法

说明书

技术领域

本发明涉及液体喷出头的制造方法。

背景技术

液体喷出装置将液体从液体喷出头喷出至记录介质并记录图像等。专利文献1中描述了一种方法，作为这种液体喷出头的制造方法。将简要地描述专利文献1所述的液体喷出头的制造方法。首先，制备包括能量产生元件的元件基板，其中能量产生元件产生用于从喷出口喷出液体的能量。接着，在元件基板上形成包括光吸收剂的正型感光性树脂层。然后，曝光正型感光性树脂层，形成包括流路的形状的图案。接着，以负型感光性树脂层覆盖该图案的方式形成将要作为喷出口形成构件的负型感光性树脂层。使负型感光性树脂层曝光于i线(波长为365nm)，并形成喷出口列，在该喷出口列中，喷出口沿配置方向布置成列。最后，移除图案并形成液体的流路。

当通过专利文献1的方法在液体喷出头中形成喷出口列时，存在需要曝光比场角尺寸(field angle size)大的图案的情况，其中场角尺寸是能够被曝光设备曝光的区域。如专利文献2所述，在这种情况下，可以使用被称为“分割曝光(fractionated exposure)”的制造方法。分割曝光是如下方法：在掩模上划分不能位于场角中的图案，使得图案位于场角中并曝光图案。换言之，使用包括多个喷出口列图案的掩模进行曝光并且通过连接部连接由多个喷出口列图案形成的多个喷出口列，以在一个元件基板中形成一个喷出口列。通常，连接部配置在沿配置方向(纵向)划分喷出口列的位置处。

[引用列表]

[专利文献]

专利文献1：日本特开2009-166492号公报

专利文献2：日本特开2003-145769号公报

发明内容

本发明提供一种液体喷出头的制造方法，其包括：在感光性树脂层上进行第一曝光并在所述感光性树脂层中形成第一喷出口列的步骤；和在所述感光性树脂层上进行第二曝光并在所述感光性树脂层中形成第二喷出口列的步骤，在所述第二喷出口列中，喷出口通过连接部与形成所述第一喷出口列的喷出口配置成列。其中，在由所述第一喷出口列和所述第二喷出口列形成的喷出口列中，关于所述喷出口的中心之间的在所述喷出口的开口面上的喷出口配置方向上的距离，以如下方式形成所述喷出口：彼此相邻且在彼此之间具有所述连接部的两个喷出口的中心之间的距离比彼此相邻但在彼此之间不具有所述连接部的两个喷出口的中心之间的距离长。

通过下面参照附图对示例性实施方式的说明，本发明的其他特征将变得明显。

附图说明

图1是液体喷出头的示意图。

图2是示出曝光设备的图。

图3是示出在缩小投影方式的曝光中的光束的倾斜的示意截面图。

图4是示出液体的着落位置的示意图。

图5是具有喷出口列图案的掩模的示意图。

图6A是示出分割曝光的示意图。

图6B是示出分割曝光的示意图。

图7是通过传统方法制造的液体喷出头的示意截面图。

图8是示出通过本发明制造的液体喷出头的示例的示意截面图。

图9是示出通过本发明制造的液体喷出头的示例的示意截面图。

具体实施方式

根据发明人的研究，观察到从彼此相邻且在彼此之间具有连接部的喷出口喷出的液滴的着落位置彼此偏移，并且在记录介质上出现条纹(streak)。因为着落的点彼此接近，并且这些点彼此接触，从而出现条纹。

本发明防止当通过使用如下液体喷出头将液体喷出至记录介质时在记录介质上出现条纹：该液体喷出头具有由分割曝光形成的喷出口列。

下面，将参照附图说明本发明的实施方式。在以下说明中，具有相同功能的部件将在附图中给予相同的附图标记并省略其说明。