[发明专利]三维形状测量装置的高度测量方法

权利要求书

1.一种三维形状测量装置的高度测量方法，其中，包括：

从多个第一照明装置及多个第二照明装置向测量对象物分别照射具有第一等值波长的第一网格图案光及具有第二等值波长的第二网格图案光，来获得与上述第一网格图案光相对应的第一图案图像及与上述第二网格图案光相对应的第二图案图像的步骤，上述多个第二照明装置以与上述多个第一照明装置交互的方式配置，上述第二等值波长不同于上述第一等值波长；

相互组合多个第一图案图像及多个第二图案图像来生成组合图案图像的步骤，上述多个第一图案图像及多个第二图案图像借助上述多个第一照明装置及多个第二照明装置中相邻的多个第一照明装置及多个第二照明装置而获得；

算出上述测量对象物的多个高度的步骤，上述测量对象物的多个高度基于上述多个组合图案图像的组合等值波长；以及

利用算出的上述测量对象物的多个高度来设定上述测量对象物的代表高度的步骤。

2.根据权利要求1所述的三维形状测量装置的高度测量方法，其中，在生成上述多个组合图案图像的步骤中，上述多个第一图案图像及上述多个第二图案图像分别用于与相邻于任意一侧的照明装置的图案图像的组合。

3.根据权利要求1所述的三维形状测量装置的高度测量方法，其中，在上述生成多个组合图案图像的步骤中，上述多个第一图案图像及上述多个第二图案图像分别用于与相邻于两侧的多个照明装置的多个图案图像的组合。

4.根据权利要求1所述的三维形状测量装置的高度测量方法，其中，

上述生成多个组合图案图像的步骤包括：

对多个第一图案图像及多个第二图案图像进行第一组合来生成多个第一组合图案图像的步骤，上述多个第一图案图像及多个第二图案图像借助在上述多个第一照明装置及多个第二照明装置中的相邻的多个第一照明装置及多个第二照明装置而形成，以及

对多个第一组合图案图像及多个第二组合图案图像进行第二组合来生成多个第二组合图案图像的步骤；

算出基于上述多个组合图案图像的组合等值波长的上述测量对象物的多个高度的步骤包括算出基于上述多个第二组合图案图像的组合等值波长的上述测量对象物的多个高度的步骤。

5.根据权利要求1所述的三维形状测量装置的高度测量方法，其中，在相互组合多个第一图案图像及多个第二图案图像来生成组合图案图像的步骤之前，而上述多个第一图案图像及多个第二图案图像借助上述多个第一照明装置及多个第二照明装置中的相邻的多个第一照明装置及多个第二照明装置而获得，还包括：

在上述多个第一图案图像及多个第二图案图像中判断一次噪声的步骤；以及

从上述组合中排除所判断的上述噪声的步骤。

6.根据权利要求5所述的三维形状测量装置的高度测量方法，其中，在上述判断一次噪声的步骤中，若在上述多个第一图案图像及多个第二图案图像的亮度、信噪比、相位扩散中基于其中至少一种而产生超出允许范围的信号，则判断为噪声。

7.根据权利要求6所述的三维形状测量装置的高度测量方法，其中，

上述一次噪声按上述多个第一图案图像及多个第二图案图像的像素来判断，

从上述组合中排除所判断的上述噪声的步骤包括以下步骤中的至少一个步骤：

从上述组合中排除在上述多个第一图案图像及多个第二图案图像的多个像素中判断为噪声的像素的步骤，以及

从上述组合中排除包含在上述多个第一图案图像及多个第二图案图像的多个像素中判断为噪声的像素的图案图像的步骤。

8.根据权利要求5所述的三维形状测量装置的高度测量方法，其中，在从上述组合中排除所判断的上述噪声的步骤之后，相邻于上述判断为噪声的图案图像的两侧的图案图像与互不相邻的并且具有互不相同的等值波长的图案图像组合。

9.根据权利要求1所述的三维形状测量装置的高度测量方法，其中，在算出基于上述多个组合图案图像的组合等值波长的上述测量对象物的多个高度的步骤之后，还包括：

在所算出的上述多个高度中判断二次噪声的步骤；以及

从上述设定代表高度中排除所判断的上述噪声的步骤。

10.根据权利要求9所述的三维形状测量装置的高度测量方法，其中，在上述判断二次噪声的步骤中，若在所算出的上述测量对象物的多个高度中产生超出允许范围的值，则判断为噪声。