[发明专利]照射光量控制装置及太阳模拟器

权利要求书

1.一种照射光量控制装置，其特征在于，具备：

机械性减光滤光器，将来自光源的光束的一部分截断而减光；

积分仪元件，设置在该机械性减光滤光器的光射出侧，形成光学上均匀的分布的光；以及

光扩散元件，插入在上述机械性减光滤光器与上述积分仪元件之间，具有光扩散功能及光的高阶衍射光成分截断功能。

2.如权利要求1所述的照射光量控制装置，其特征在于，

上述积分仪元件是通过将由多个透镜生成的许多光源像错开位置地重叠来形成均匀的光分布的复眼透镜式积分仪元件。

3.如权利要求1所述的照射光量控制装置，其特征在于，

上述机械性减光滤光器是在遮光板上设有多个贯通孔的冲孔式减光滤光器。

4.如权利要求1所述的照射光量控制装置，其特征在于，

上述机械性减光滤光器是具有可变光圈的光圈式减光滤光器。

5.如权利要求1所述的照射光量控制装置，其特征在于，

上述机械性减光滤光器是在遮光板上设有单一的贯通孔的环式减光滤光器。

6.如权利要求1所述的照射光量控制装置，其特征在于，

上述光扩散元件与上述积分仪元件的距离可变。

7.一种太阳模拟器，其特征在于，具备：

光源；

反射镜，将该光源的光反射；

照射光量控制装置，包括将来自该光源及该反射镜的光束的一部分截断而减光的机械性减光滤光器、设置在该机械性减光滤光器的光射出侧并形成光学上均匀的分布的光积分仪元件、以及插入在上述机械性减光滤光器与上述积分仪元件之间并具有光扩散功能及光的高阶衍射光成分截断功能的光扩散元件；以及

准直透镜元件，设置在该照射光量控制装置的上述积分仪元件的光射出侧，将入射光变换为平行光。

8.如权利要求7所述的太阳模拟器，其特征在于，

上述积分仪元件是通过将由多个透镜生成的许多光源像错开位置地重叠来形成均匀的光分布的复眼透镜式积分仪元件。

9.如权利要求7所述的太阳模拟器，其特征在于，

上述机械性减光滤光器是在遮光板上设有多个贯通孔的冲孔式减光滤光器。

10.如权利要求7所述的太阳模拟器，其特征在于，

上述机械性减光滤光器是具有可变光圈的光圈式减光滤光器。

11.如权利要求7所述的太阳模拟器，其特征在于，

上述机械性减光滤光器是在遮光板上设有单一的贯通孔的环式减光滤光器。

12.如权利要求7所述的太阳模拟器，其特征在于，

上述光扩散元件与上述积分仪元件的距离可变。