[发明专利]在柔性衬底上形成光伏电池的系统

权利要求书

1.用于在柔性衬底上沉积薄膜光伏电池的沉积系统，所述沉积系统包括：

a)罩壳，所述罩壳包含与所述罩壳外部的环境流体地隔离的流体空间；

b)在所述流体空间中的多个沉积室，其中所述多个沉积室中的至少一个沉积室包含磁控溅射装置，其将一种或多种靶材的物质流引向所述柔性衬底的布置在所述多个沉积室的所述至少一个沉积室中的部分上；

c)在所述罩壳中的衬底释放辊和衬底卷取辊，其中所述衬底释放辊提供的柔性衬底被引导通过所述多个沉积室的每一个到达所述衬底卷取辊；和

d)在所述罩壳中的至少一个导辊，其中所述导辊被配置成将所述柔性衬底引向或引出所述多个沉积室中的给定沉积室。

2.权利要求1的沉积系统，其中所述至少一个导辊布置在所述多个沉积室的第一沉积室和第二沉积室之间。

3.权利要求1的沉积系统，其中所述至少一个导辊与所述第一和第二沉积室流体地隔离。

4.权利要求1的沉积系统，其中所述罩壳具有圆形横截面。

5.权利要求1的沉积系统，其中所述柔性衬底是不锈钢衬底。

6.权利要求1的沉积系统，所述多个室中的单个室包含允许所述柔性衬底进入所述单个室的第一开口和允许所述柔性衬底离开所述单个室的第二开口。

7.权利要求6的沉积系统，其还包含与所述第一开口相邻的第一辊和与所述第二开口相邻的第二辊，其中所述第一辊被配置成将所述柔性衬底引入所述单个室中和所述第二辊被配置成将所述单个衬底引出所述单个室。

8.权利要求1的沉积系统，其中所述至少一个沉积室包含多个沉积室，在所述多个沉积室当中，每个沉积室包含至少一个磁控溅射装置。

9.权利要求8的沉积系统，其中在所述多个沉积室的单个沉积室中布置单个磁控溅射装置。

10.权利要求1的沉积系统，其中所述至少一个沉积室包含多个磁控溅射组合件。

11.权利要求10的沉积系统，其中所述一种或多种靶材的物质流包括包含铜和铟的物质流。

12.权利要求11的沉积系统，其中所述一种或多种靶材的物质流还包括包含镓的物质流。

13.权利要求11的沉积系统，其中所述至少一个沉积室向所述柔性衬底的布置在所述至少一个沉积室中的所述部分提供硒的物质流。

14.权利要求1的沉积系统，其中所述至少一个沉积室包含磁控溅射装置，所述磁控溅射装置包含：

与平面磁控管相邻的可旋转磁控管；和

一个或多个在所述可旋转磁控管和所述平面磁控管之间形成子腔室的屏，

其中所述平面磁控管被配置成包含具有第一材料的液体靶材并向所述可旋转磁控管提供具有所述第一材料的物质流，和

其中所述可旋转磁控管被配置成相对于所述平面磁控管旋转具有第二材料的固体靶材，并向所述柔性衬底提供具有所述第一和第二材料的物质流。

15.权利要求14的沉积系统，其中所述第一材料具有第一熔点，其比所述第二材料的第二熔点低。

16.权利要求14的沉积系统，其中所述第一材料是镓而所述第二材料是铟。

17.权利要求14的沉积系统，其中所述可旋转磁控管的形状是至少部分圆柱形的。

18.权利要求14的沉积系统，其中所述平面磁控管包含与磁控管主体相邻的背板，并且其中所述磁控管主体包括一个或多个磁体和所述背板适合于保持所述液体靶材。

19.权利要求14的沉积系统，其中所述可旋转磁控管包含适合于相对于所述平面磁控管旋转所述固体靶材的支撑构件。

20.权利要求14的沉积系统，其中所述平面磁控管适合于包含具有第三材料的另一种液体。

21.权利要求14的沉积系统，其中所述平面磁控管被配置成在所述室中提供所述第一材料的流。

22.权利要求14的沉积系统，其还包含与所述平面磁控管相邻的另一个平面磁控管，其中所述另一个平面磁控管配置成在所述室中提供第三材料的流。