[发明专利]滑动部件

权利要求书

1.一种滑动部件，其特征在于，在一对滑动部件的相互相对滑动的一侧的滑动面，沿周向独立地设置有多个正压产生机构，所述正压产生机构由与所述滑动面大致平行地具有亚微米级的阶梯差的极浅平行槽构成，所述极浅平行槽与高压流体侧连通，所述极浅平行槽与低压流体侧被密封面隔离开。

2.根据权利要求1所述的滑动部件，其特征在于，所述极浅平行槽的槽深h为10nm～1μm，槽底部的表面粗糙度a为1～100nm，具有h＞a的关系。

3.根据权利要求2所述的滑动部件，其特征在于，所述极浅平行槽优选为，槽深h为50～500nm，槽底部的表面粗糙度a为1～30nm，具有h＞a的关系。

4.根据权利要求1～3中的任一项所述的滑动部件，其特征在于，所述极浅平行槽由深度不同的多个槽形成。

5.根据权利要求1～4中的任一项所述的滑动部件，其特征在于，所述极浅平行槽相对于滑动面的面积优选设置在5％～70％的范围内。

6.根据权利要求1～5中的任一项所述的滑动部件，其特征在于，一对滑动部件由环状体构成，所述环状体作为机械密封件的相互相对旋转的静止侧滑动部件或旋转侧滑动部件使用。