[发明专利]真空蒸镀源加热系统和真空蒸镀系统有效
| 申请号： | 201380014110.7 | 申请日： | 2013-03-06 |
| 公开（公告）号： | CN104302806A | 公开（公告）日： | 2015-01-21 |
| 发明（设计）人： | J·马蒂亚松;M·克辛格;F·克劳泽;T·阿尔格伦;S·施泰因贝格 | 申请（专利权）人： | 北京精诚铂阳光电设备有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/26 | 分类号： | C23C14/26;C23C14/24;H01R4/26 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 | 代理人： | 周亚荣;安翔 |
| 地址： | 100176 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 真空 蒸镀源 加热 系统 | ||
1.真空蒸镀源加热系统，安装在真空蒸镀系统中并且包括：
-设计用于加热蒸镀源的加热元件(1)，
-与所述加热元件电连接并用于向加热元件(1)提供电能的电源供应元件(2)；
-将电源供应元件(2)电连接到所述加热元件的连接件(3)，
据此所述电源供应元件以弹性的方式机械安装至连接件(3)，并且据此所述连接件包括由弹性碳材料制成的弹簧元件(31)。
2.根据权利要求1所述的真空蒸镀源加热系统，其特征在于，所述弹簧元件由碳纤维/CFC(碳纤维增强碳)和/或热分解碳制成。
3.根据权利要求1或2所述的真空蒸镀源加热系统，其特征在于，所述弹簧元件是由碳泡沫或者碳毡制成。
4.根据上述权利要求中任一项所述的真空蒸镀源加热系统，其特征在于，所述弹簧元件包含至少50％、60％、70％、80％或90％的碳，或者基本上完全由碳制成。
5.根据上述权利要求中任一项所述的真空蒸镀源加热系统，其特征在于，所述电源供应元件(2)通过弹簧元件与加热元件(1)电连接。
6.根据上述权利要求中任一项所述的真空蒸镀源加热系统，其特征在于，所述电源供应元件(2)具有细长的形状。
7.根据权利要求6所述的真空蒸镀源加热系统，其特征在于，所述电源供应元件(2)具有棒状的形状，并带有平的、矩形的、正方形的、椭圆形的或者圆形的横截面。
8.根据上述权利要求中任一项所述的真空蒸镀源加热系统，其特征在于，所述电源供应元件(2)由碳制成。
9.根据上述权利要求中任一项所述的真空蒸镀源加热系统，其特征在于，所述电源供应元件(2)被电绝缘材料的绝缘盖(21)至少部分覆盖。
10.根据上述权利要求中任一项所述的真空蒸镀源加热系统，其特征在于，所述绝缘盖(21)由氧化铝制成。
11.真空蒸镀系统，含有根据上述权利要求中任一项所述的真空蒸镀源加热系统。
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