[发明专利]真空旋转装置有效
| 申请号： | 201380014154.X | 申请日： | 2013-01-14 |
| 公开（公告）号： | CN104379798B | 公开（公告）日： | 2017-03-01 |
| 发明（设计）人： | 乔纳森·普赖斯 | 申请（专利权）人： | 基恩科有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;H01J37/34;H01J37/32 |
| 代理公司： | 广州华进联合专利商标代理有限公司44224 | 代理人： | 王程,何冲 |
| 地址： | 英国默西塞*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 真空 旋转 装置 | ||
【权利要求书】：
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